仪器网

欢迎您: 免费注册 仪器双拼网址:www.yiqi.com
首页-资讯-资料-产品-求购-招标-品牌-展会-行业应用-社区-供应商手机版
官方微信
仪器网-专业分析仪器,检测仪器平台,实验室仪器设备交易网 产品导购
VIP企业会员服务升级
仪器/ 产品中心/ 实验室常用设备/ 其它/ 其它实验室常用设备/ Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE
收藏  

Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE

联系方式:邹良成021-61552797

联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!

为您推荐
详细介绍

特点:

·适用6寸以下样品的处理

·用于塑胶材料表面的处理

·配置自动/手动模式,实现控制高机能

·桌上型,省空间

·适合于研究院、高校、研发使用

 

用途:

·表面清洗活化

·表面蚀刻

 

 

规格:

型号

FEMTO RIE(防腐)*1

FEMTO RIE(防腐)*1

控制方式

按键操作控制

Windows CE  7”触摸屏操作控制

操作方式

手动

手动/自动

程序存储

50组

工艺过程监控

二维折线图与数字实时显示

程序偏离值

抽真空时间、进气量偏差值,实际功率输出

报错功能

显示详细的报错信息

数据导入导出

USB

选程控制

选配

工艺气路

单路,双路,三路

工艺气体

O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1

流量计

针阀流量计(可选防腐针阀流量计)*1

MFC流量计(可选防腐MFC流量计)*1

冲洗气路

一路

泄气气路

一路

真空计

指针式/0-10mbar

数字式/0-9.99mbar

计时器

0~999.9H

真空腔体

不锈钢圆形腔体

盖子门带观察窗

尺寸Φ190mm x H60mm

容积1.7L

电极

不锈钢气浴RIE电极, Φ160mm

发生器

40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W

外形尺寸(WxDxH)

560 x 600 x 860mm

电源

AC230 V / 16 A

真空泵

排气速度不小于4m3/H, 极限真空度小于10Pa

选配功能

托盘冷却,腔体温度监控,冷水纲


产品优势
·适用6寸以下样品的处理

·用于塑胶材料表面的处理

·配置自动/手动模式,实现控制高机能

·桌上型,省空间

·适合于研究院、高校、研发使用
技术资料
产品文章
解决方案
厂商相关其他产品
X您尚未登录
账号登录
X您尚未登录
手机动态密码登录
X您尚未登录
扫码登录
在线留言
官方微信

仪器网微信服务号

扫码获取最新信息


仪器网官方订阅号

扫码获取最新信息

在线客服

咨询客服

在线客服
工作日:  9:00-18:00
联系客服 企业专属客服
电话客服:  400-822-6768
工作日:  9:00-18:00
订阅商机

仪采招微信公众号

采购信息一键获取海量商机轻松掌控