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OPTM 半导体膜厚测试仪

联系方式:市场部13810146393

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详细介绍
特长 Features
· 膜厚测量中必要的功能集中于头部
· 通过显微分光高精度测量JD反射率(多层膜厚、光学常数)
· 1点只需不到1秒的高速tact
· 实现了显微下广测量波长范围的光学系(紫外~近红外)
· 通过区域传感器控制的安全构造
· 搭载可私人定制测量顺序的强大功能
· 即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数
· 各种私人定制对应(固定平台,有嵌入式测试头式样)

测量项目 Measurement item
· JD反射率测量
· 膜厚解析
· 光学常数解析(n:折射率、k:消光系数)


构成图

半导体膜厚测试仪OPTM 式样Specifications
※ 上述式样是带有自动XY平台。
※ release 时期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3预定2016年9月。
* 膜厚范围是SiO2换算。
产品优势
测量目标膜的JD反射率,实现高精度膜厚和光学常数测试! (分光干渉法)
技术资料
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