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OPTM 半导体膜厚测试仪
- 品牌：日本大塚
- 型号/货号： optm/optm
- 产地：亚洲 日本
- 供应商报价：面议
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北京先锋泰坦科技有限公司
更新时间：2025-05-06 17:10:48 -
销售范围售全国
入驻年限第10年
营业执照已审核
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产品特点
- 测量目标膜的JD反射率，实现高精度膜厚和光学常数测试！ （分光干渉法）
详细介绍
- 特长 Features· 膜厚测量中必要的功能集中于头部· 通过显微分光高精度测量JD反射率（多层膜厚、光学常数）· 1点只需不到1秒的高速tact· 实现了显微下广测量波长范围的光学系（紫外～近红外）· 通过区域传感器控制的安全构造· 搭载可私人定制测量顺序的强大功能· 即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数· 各种私人定制对应（固定平台，有嵌入式测试头式样）
测量项目 Measurement item· JD反射率测量· 膜厚解析· 光学常数解析（n：折射率、ｋ：消光系数）※ 上述式样是带有自动XY平台。
构成图半导体膜厚测试仪OPTM 式样Specifications
※ release 时期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3预定2016年9月。＊ 膜厚范围是SiO2换算。 技术资料
沪公网安备 31011502008050号