-
-
-
膜厚测量仪FE-300
- 品牌：日本大塚
- 型号： FE-300
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
-
北京先锋泰坦科技有限公司
更新时间：2024-03-27 16:48:25 -
企业性质生产商
入驻年限第3年
营业执照已审核
- 同类产品反射式膜厚仪(5件)
联系方式：市场部13810146393
联系我们时请说明在仪器网（www.yiqi.com）上看到的!
-
为您推荐
- 详细介绍
- 膜厚量测仪FE-300的特点
- 测试范围涵盖薄膜到厚膜
- 基于JD反射率光谱分析膜厚
- 小型・低价，精度高
- 无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手
- 外观新颖，操作性提高
- 非线性*小二乘法，实现光学常数解析（n：折射率、k：消光系数）
对应膜种○ 多层膜 ○ 折射率倾斜○ 非干涉膜 ○ 超晶格结构用途○ 光学薄膜（ARfilm、ITO等）○ FPD相关（ITO、PI、PC、CF等）测量项目多层膜厚解析JD反射率测量光学常数解析（n：折射率k:消光系数）测量实例
式样
*1 细规格请咨询型号 FE-300V FE-300UV FE-300NIR *1 本体 标准型 薄膜型 厚膜型 厚膜型（高分辨率） 样品尺寸 *大 8 寸晶圆（ 厚度 5 mm ） 测量膜厚范围（ｎｄ值） 100 nm ～ 40 μm 10 nm ～ 20 μm 3 μｍ ～ 300 μm 15 μｍ ～ 1.5 mm 测量波长范围 450 nm ～ 780 nm 300 nm ～ 800 nm 900 nm ～ 1600 nm 1470 nm ～ 1600 nm 测量精度 ± 0.2 nm 以内 *2 ± 0.2 ｎｍ 以内 *2 - - 重复精度 0.1 nm 以内 *3 0.1 nm 以内 *3 - - 测量时间 0.1 s ～ 10 s 以内 光斑直径 约 φ 3 mm 光源 卤素灯 氙灯与卤素灯 卤素灯 卤素灯 通讯接口 USB 尺寸，重量 280（W) × 570（D） × 350（H） mm、 约 24 kg 软件功能 标准 波峰波谷解析、FFT解析、*适化法解析、*小二乗法解析 选配功能 材料评价软件、薄膜模型解析软件、标准片解析 *2 相对于VLSI 公司产膜厚标准（100nm SiO2/Si）的膜厚保证书记载的测量保证值范围*3 VLSI 公司产膜厚标准（100nm SiO2/Si）的同一点反复测量时的扩张不确定度（包括因子2.1） - 产品优势
- 小型・低价格！简单操作”非接触”膜厚量测仪FE-300！
- 技术资料
-
