C11011-01W 微米膜厚测量仪
C11011-01W型光学微米膜厚测量仪利用激光相干度量学原理，测量速度达60Hz，适用于产品线上在线测量。此外，选配的映射系统可以测量指定样品的厚度分布。C11011-01W应用广泛，比如用于产品制造过程监控或质量控制。欢迎您登陆滨松ZG全新中文网站http://www.hamamatsu.com.cn/查看该产品更多详细信息！
特性
利用红外光度测定进行非透明样品测量
测量速度高达60 Hz
测量带图纹晶圆和带保护膜的晶圆
长工作距离
映射功能
可外部控制
参数
| 型号 | C11011-01W |
| 可测膜厚范围（玻璃） | 25 μm to 2900 μm*1 |
| 可测膜厚范围（硅） | 10 μm to 1200 μm*2 |
| 测量可重复性（硅） | 100 nm*3 |
| 测量准确度（硅） | < 500 μm: ±0.5 μm； > 500 μm: ±0.1 %*3 |
| 光源 | 红外LED（1300 nm） |
| 光斑尺寸 | φ60 μm*4 |
| 工作距离 | 155 mm*4 |
| 可测层数 | 一层（也可多层测量） |
| 分析 | 峰值探测 |
| 测量时间 | 22.2 ms/点*5 |
| 外部控制功能 | RS-232C / PIPE |
| 接口 | USB2.0 |
| 电源 | AC100 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | 50W |
*1：SiO2薄膜测量特性
*2：Si薄膜测量特性
*3：测量6 μm厚硅薄膜时的标准偏差
*4：可选配1000mm工作距离的模型C11011-01WL
*5：连续数据采集时间不包括分析时间
报价：面议
已咨询2311次
报价：面议
已咨询804次膜厚测量系统
报价：面议
已咨询970次膜厚测量系统
报价：面议
已咨询953次膜厚测量系统
报价：面议
已咨询902次膜厚测量系统
报价：面议
已咨询2103次
报价：面议
已咨询1097次膜厚测量仪
报价：面议
已咨询141次其它未分类
X15213-03CR 是一款仅有反射相的空间光调制器 (SLM)，基于硅上液晶 (LCOS) 技术，可通过 CMOS 芯片的寻址电压直接控制液晶 (LC) 分子，并且可以高精度、高速调制光束的波前。
X15213-03CL 是一款仅有反射相的空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，可通过 CMOS 芯片的寻址电压直接控制液晶 (LC) 分子，并且可以高精度、高速调制光束的波前。
LCOS 芯片中的失真（如 LC 的波前失真和非线性响应）可通过控制器进行高效校正。使用 X15213 系列可实现简便的 PC 控制、精确的线性相位调制特性。它们还可以提供高衍射效率和高光利用率。
LCOS 芯片中的失真（如 LC 的波前失真和非线性响应）可通过控制器进行高效校正。使用 X15213 系列可实现简便的 PC 控制、精确的线性相位调制特性。它们还可以提供高衍射效率和高光利用率。
X15213 系列设备是一种反射型纯相位空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，其中液晶 (LC) 直接由电压进行准确控制，并且可以调制光束的波前。
X15213 系列设备是一种反射型纯相位空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，其中液晶 (LC) 直接由电压进行准确控制，并且可以调制光束的波前。
X15213 系列设备是一种反射型纯相位空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，其中液晶 (LC) 直接由电压进行准确控制，并且可以调制光束的波前。
X15213 系列设备是一种反射型纯相位空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，其中液晶 (LC) 直接由电压进行准确控制，并且可以调制光束的波前。
营业执照已审核
分享
收藏
沪公网安备 31011502008050号