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BS/JEBG/EBG 系列电子枪
- 品牌:日本电子
- 型号: BS/JEBG/EBG 系列
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-04-24 09:08:30
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。
产品规格:
型号
最大输出功率
偏转角度
灯丝
电子束扫描
坩埚
氧化物
金属
BS-60060DEBS
6.4kW
270°
U字形
(长寿命)快速
扫描无*2
◎
○
BS-60050EBS
10kW
270°
无*2
◎
○
BS-60040VDGN
10kW
270°
无*2
◎
○
BS-60030DGN
10kW
270°
无*2
◎
○
EBG-102UB6S
10kW
180°
漩涡形
12cc×6 个
◎
○
EBG-102UB4S
10kW
180°
12cc×4 个
◎
○
JEBG-102UH0
10kW
180°
无*2
◎
○
BS-60210DEM
+BS-60140H4H10kW
270°
直线线圈形
(长寿命)中速
扫描40cc×4 个
△
◎
BS-60210DEM
+BS-60150H6H10kW
270°
40cc×6 个
△
◎
EBG-203UB6S
20kW*1
270°
漩涡形
快速
扫描12cc×6 个*3
○
◎
EBG-203UB4H
20kW*1
270°
12cc×2 个 28cc
(半球)×2 个○
◎
JEBG-203UA0
20kW*1
270°
无*4
○
◎
JEBG-303UA
30kW*1
°
· *1: EB电源最大输出功率为16kW,实际能使用的最大输出功率为16kW。
· *2: 可以定制 ⇒12cc×4 或6个 等
· *3: 坩堝小凹孔的形状可以改变 ⇒ 28cc(φ45×20h)×6个, 51cc(φ60×20h)×3个等。
· *4: 可以定制 ⇒40cc(φ50×25h)×4或6个, 114cc(φ75×30h)×1个等
· *5: 可以定制 ⇒114cc(φ75×30h)×1个, φ34×20h×3个小凹穴(同时蒸镀用), φ70×30h×4个 等
产品特点:
· 用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。
· 电子束蒸镀法的特征
· 用电子束直接照射镀膜材料进行加热,因此热效率高,能蒸发高熔点金属、氧化物、化合物、升华性物质等各种材料。
。镀膜材料在水冷铜坩埚内(*)被直接加热,因此不会象电阻加热式或感应加热式那样与坩埚发生反应。
*可能需要使用坩埚内衬。· 能迅速控制输出,因而能精确地控制膜厚。
· 与溅射法及 CVD 法相比,能快速镀膜是一大特征。
对形成1µm 以上的厚膜也很有效。· 日本电子制造的电子枪/电源的特征
· [ 氧化物 ]
电子束垂直照射镀膜材料,束斑近似圆形,具有能量密度高的特征。此外,由于标准配备了快速扫描功能,非常适合蒸镀融点高、热传导性低的氧化物及升华性材料,能获得良好的熔痕,大面积的镀膜区域上膜厚分布均匀,重现性好。
[ 金属 ]
坩埚的选择范围很大,能进行多种、大量、高速率的蒸镀,还有用来YZ成膜时温度上升的剥离工艺用电子枪。
[ 合金复合膜 ]
往临近的两个或三个坩埚内充填不同的材料,使用专用的扫描控制器进行双源或三源蒸发,可以形成合金膜和复合膜。- 产品优势
- 日本JEOL BS/JEBG/EBG 系列电子枪,用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。