特点

高精度CNC表面粗糙度/形状测量仪，一机二用：可进行表面粗糙度和形状/轮廓测量。

每轴驱动速度最高可达200mm/s，实现高速定位，满足多轮廓/多工件的测量任务。

带α轴的机型可通过电动倾斜检出器，对水平和倾斜表面进行连续测量。

带Y轴工作台的机型可通过Y轴轴向定位，扩大测量任务的范围，如多工件任务等。

SV-C4000CNC系列的轮廓驱动器配备激光全息光栅尺，可提高宽/窄范围测量精度和Z1轴分辨率。

通过同时控制X1轴和Z2轴的方向，可实现倾斜平面的测量。

通过简单的一次性操作，可更换形状/轮廓测量装置与表面粗糙度测量装置，并且，不必对连接电缆重新布线。

由于Z1轴检出器内置了防撞器，当检出器主体即将碰撞工件或夹具时，检出器将自动停机。

配有易于操作的遥控箱：通过两个操纵杆，选定需要操作的轴，即可实现任何移动。键上端的轴向图标易于辨认，轻松操作。

通过USB与数据处理/分析器通信。

轮廓测量技术参数

X1轴

测量范围: 200mm

分辨率: 0.05μm

测量速度: 0.02-2mm/s

直线度: 2μm/200mm

指示精度（20℃时）: ±（1+4/200）μm（SV-C3000CNC）

±（0.8+4L/200）μm（SV-C4000CNC）

a轴

倾角 : -45°-+10°

分辨率: 0.000225°

旋转速度: 1rpm

Z2轴（立柱）

垂直移动: 300mm或500mm

分辨率: 0.05μm

驱动速度: 200mm/s（最大CNC）

0-60mm/s(操纵杆)

Z1轴(检测器)

测量范围: ±25mm

分辨率: 0.2μm（SV-C3000CNC）

0.05μm（SV-C4000CNC）

直线位移精度(20℃):

±（2+|4H|/100）μm（SV-C3000CNC）

±（0.8+|0.5H|/25）μm（SV-C4000CNC）

测针位移: 弧形移动

测针方向: 向下

测力: 30mN

跟踪方向: 向上:70°,向下:70°

测针针尖: 半径：25μm，硬质合金

表面粗糙度测量的技术参数

X1轴

测量范围: 200mm

分辨率: 0.05μm

测量速度 : 0.02-2mm/s

直线度: 0.5μm/200mm

α轴

倾角: -45°-+10°

分辨率: 0.000225°

旋转速度 : 1rpm

Z2轴（立柱）

垂直移动: 300mm或500mm

分辨率: 0.05μm

检测器（选件）

范围/分辨率: 800μm/0.01μm，80μm/0.001μm， 8μm/0.0001μm

测力: 4mN或0.75mN（低测力型）

测针针尖: 金刚石，90°/5μmR (60°/2μmR：低测力型)