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Park Systems原子力显微镜 NX-20

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详细介绍

仪器简介:

NX-20具有卓越的形貌表征能力,完善的设计使其保证了扫描的高精确度和数据的高重复性。高度自动化的软硬件,极大地避免了人为操作的失误和误差,提高了工作效率测量,降低了劳动强度。该仪器具备高速的伺服响应能力,超高的扫描器线性度,极低的闭环检测器噪声水平,和最小的系统热漂移量。作为一款界面友好,操作简便的仪器,NX-20会成为纳米研究领域及相关产业界的得力助手。

技术参数:

扫描器

XY扫描器

柔性制导闭环控制单模块扫描器

扫描范围100μm*100μm(可选50μm*50μm)

平面偏移度:<2nm(全量程扫描)

Z扫描器

柔性制导QL扫描器

扫描范围15μm(可选30μm)

定位检测噪声:0.03nm(带宽:1kHz)

共振频率:>9kHz

表面成像噪声:0.03nm

样品台

样品台种类:16位点样品台/150mm直径真空吸附台(可选200mm直径真空吸附台)

样品尺寸: 150mm*150mm*20mm

样品重量:最大500g

样品台移动范围:150mm*150mm(可选200mm*200mm)


主要特点:

一、高精确性和高重复性

● 探针几乎没有损耗,保证了图像的高分辨率

● 非接触模式下最快的扫描速度

● 独特的双路闭环解耦合XY平板式扫描器

● 业内最小的系统漂移和迟滞

二、低噪声检测器精确测量样品形貌

●采用业界领xian的低噪声检测器测量样品形貌

● 消除了蠕变效应导致的边缘超调误差

● 高速扫描过程中的精确形貌检测记录

●业界领xian的极小正反测量偏离量,小于0.15%

三、Non-Contact(真正非接触) 模式极大降低了使用成本

●相对于传统扫描模式,将探针寿命提高了10倍以上

●极低的探针损耗极大地延长了探针高分辨扫描寿命

●对样品几乎没有磨损


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