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卧式低压化学气相沉积炉管
- 品牌：北京华测
- 型号： SVCS
- 产地：海淀区
- 供应商报价： 面议
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北京华测试验仪器有限公司
更新时间：2024-04-24 10:08:19 -
企业性质生产商
入驻年限第7年
营业执照已审核
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卧式低压化学气相沉积炉管
产品简介
用于沉积高品质的n型掺杂或非掺杂的多晶硅或非晶硅；用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅。
主要技术指标
炉管1：N型多晶硅以及非晶硅薄膜沉积工艺
气体：高纯N2、SiH4、PH3
炉管2：低应力氮化硅，氮氧化硅薄膜
气体：高纯N2、NH3、N2O、SiH2Cl2
温度：700-900 °C
硅片尺寸：3英寸、4英寸、6英寸圆片；50片/炉- 产品优势
- 卧式低压化学气相沉积炉管用于沉积高品质的n型掺杂或非掺杂的多晶硅或非晶硅；用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅。
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