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驰奔Cube-100A台式扫描电镜

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详细介绍

【简介】

驰奔-E系列扫描电镜,是十多年来,一直从事扫描电镜研发制造的博士和工程师精心打造。
驰奔-E系列扫描电镜,采用国际先进技术设计制造,一贯的经典设计路线,紧密贴近用户。追求经典高品质,追求经济可靠,包括Cube(小布丁)台式扫描电镜、Genesis(起源)小型立式扫描电镜、Veritas(真相)大型扫描电镜。形成完善的热发射电子枪扫描电镜产品线,可满足各层次用户需求。

驰奔-E系列钨灯丝扫描电镜,采用统一的优良电子光学技术,台式电镜和立式电镜具有相同的分辨率性能和图像质量。电子枪均可升级为亮度提高10倍的更高级的电子枪,实现纳米尺度形貌快速表征。样品台均采用先进优中心结构,方便3D重构

Cube系列桌面台式扫描电镜,标准配置五轴优中心样品台,样品室可同时接配SE、BSE、EDS等探测器

Cube100A、使用五轴优中心样品台,其中常用的三轴 X Y R 为计算机导航马达驱动,倾斜T轴和升降Z轴手动。SE探测器成像

【主要特点】:


  • ●具有大型扫描电镜的高分辨性能,操作简便,快速成像

  • 优中心样品台,轻易实现3D重构

  • 马达驱动样品台,批量样品测试,GX率。

  • Se探测器,可切换成Bse信号采集模式,Se形貌反差精细,成分反差较弱

  • 占地面积小,同类产品高性价比


一次装载七个标准 φ12.5mm样品托,样品坐标可存储

GX率马达驱动计算机导航样品台

优中心倾斜机构及升降机构

计算机导航控制软件

(轻易实现微米亚微米尺度样品表征,具有良好的景深及图像质量)

【适用范围】:

扫描电镜广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域,适用于科学研究,工业产品失效分析,产品可靠性控制。先进的电子光学性能,满足客户从几倍到几十万倍的快速观察分析,不但具有强大的图像处理分析功能,还能广泛连接各种标准或者非标准探测器,拓展成为可靠的分析型电镜,实现用户对材料的全方位微观分析。

Cube-100A适合批量样品快速分析测试微区形貌。

【安装示意图】


【性能指标】

型号

Cube-100A

样品台

五轴优中心,三轴自动台
-X: 40mm (自动)

-Y: 40mm (自动)

-R: 360°无限 (自动)

-Z: 5-20mm (手动)
-T: ±20° (手动)

电子枪

预对中钨灯丝,三极自动偏压

加速电压

1-20KV (最大发射电流190μA @ 20KV/最大电子枪功率:3.8W)

探测器

ET-SED

物镜光阑

20μm 单光阑

分辨率

5nm @20KV (4nm@30kv)

放大倍数

20-200,000 X

样品室

内部尺寸120mm(W)x120mm(D)x120mm(H),Se、Bse、EDS等探测器接口

最大样品尺寸

Φ90mm x 30mm(H)

工作距离

0-20mm

扫描光栅运动

电位移 ±50μm, 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变

TV模式:800x 600像素

慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。

照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、最大3200x2400像素

图像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

真空系统

全自动真空系统,真空高压连锁安全保护

-涡轮分子泵

-旋片式机械真空泵

-电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等

-高真空优于9x10-3Pa

(从大气到达高真空小于3分钟)

-低真空模式 1-100Pa (选配)

自动功能

亮度/对比度, 聚焦, 象散、电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中

软件系统

基于Win8,Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

400(W)x500(D)x 580(H)mm /70kg

电源

单相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具

可选配置

30KV加速电压 | 四位可变物镜光阑 |样品室摄相机 | 低真空模式 | 升级LaB6/CeB6阴极 |3D重构成像软件 | 一体化能谱系统 CubeX | 升级双探测器Cube plus

技术资料
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