红外显微镜红外显微镜是一种利用波长在800nm到20μm范围内的红外光作为像的形成者,用来观察某些不透明物体的显微镜。用于红外显微镜的像转换器有两种类型,另一种是“固体”类型,它是由一个光电导体层和一个电子发光层所组成,这两者被夹在可以提供交流电的两层薄透明导体层之间。相当于真空管阳极的电子发光层,对着光电导体层已经被红外光辐射轰击的区域发射可见光,从而形成了可见的像。
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μAMOS 红外共焦激光失效分析仪
- 品牌:日本滨松
- 型号: μAMOS
- 产地:日本
红外-光致阻值改变(IR-OBIRCH)分析系统“μAMOS”是一款半导体失效分析仪,使用IR-OBIRCH方式来定位漏电流路径和LSI器件中的异常阻抗接触部件。在特定频率下,使用lock-in单元来探测OBIRCH信号可大大提高信噪比。而且,通过使用大电流探针头,也可以对大电流高电压工作的器件进行分析。特性图像空间分辨率高背面观测(λ=1.3 μm)可观测高掺杂基底(Epi-sub)使用红外激光(λ=1.3 μm)意味着在半导体视场内不会产生OBIC信号,因此可探测到缺陷引发的OBIRCH信号可以测量4
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