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香港电子器材有限公司
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- 品牌：维易科
- 型号：Firebird
- 产地：美洲 美国
- 供应商报价：面议
Veeco(之前称之为Cambridge Nanotech)已经有15年以上的ALD研发生产经验。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大学，05年搬到Boston并生产出Thermal ALD - Savannah, 之后生产出Plasam ALD - Fuji、批量生产ALD-Phoenix。2017年被Veeco收购，并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今为止，Veeco在ALD设备已有15年多的经验，全球已安装五百多台ALD设备。
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技术参数
| 品牌: | 维易科 | 型号: | Firebird |
详细介绍
产品介绍：
Veeco(之前称之为Cambridge Nanotech)已经有15年以上的ALD研发生产经验。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大学，05年搬到Boston并生产出Thermal ALD - Savannah, 之后生产出Plasam ALD - Fuji、批量生产ALD-Phoenix。2017年被Veeco收购，并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今为止，Veeco在ALD设备已有15年多的经验，全 球已安装五百多台ALD设备。
Firebird Batch Thermal ALD System
方式: Thermal batch ALD
优势:完全自动化的批量生产系统，**生产能力（每月zui多40000片），zuidi的成本，zui高的产量，极优的一致性针对脆弱/温度敏感的衬底解决方案，包括LNO/LTO/玻璃模块化热管理，以实现**工艺灵活性和产量
薄膜: 氧化物薄膜，包含封装层、光学涂层氧化物薄膜，包含封装层、光学涂层
反应腔体大小: 无缝晶片尺寸转换能力高达300mm
沪公网安备 31011502008050号