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Atonarp 半导体过程监控在线质谱仪
- 品牌:日本Atonarp
- 型号: Aston™
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- 伯东企业(上海)有限公司 更新时间:2024-03-27 15:06:09
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企业性质授权代理商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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- 标签: Atonarp Aston™ 在线质谱仪 半导体过程监控
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- 详细介绍
价格货期电议
Atonarp 适用于半导体过程控制在线质谱仪 Aston™
上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™, 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断, 为半导体过程控制提供解决方案, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 在现有生产工艺工具上加装 Aston, 可在短时间内实现晶圆更高产量!
Aston™ 特性
实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝
半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据
采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用
可与大批量生产工具完全集成
Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
Atonarp Aston™ 技术参数类型
Impact-300
Impact-300DP
Plasma-200
Plasma-200DP
Plasma-300
Plasma-300DP
型号
AST3007
AST3006
AST3005
AST3004
AST3003
AST3002
质量分离
四级杆
真空系统
分子泵
分子泵
隔膜泵分子泵
分子泵
隔膜泵分子泵
分子泵
隔膜泵检测器
FC /SEM
质量范围
2-285
2-220
2-285
分辨率
0.8±0.2
检测限
0.1 PPM
工作温度
15-35“℃
功率
350 W
重量
15 kg
尺寸
299 x 218 x 331 LxWxH(mm)
400 x 240 x 325 LxWxH(mm)
Atonarp Aston™ 应用: 半导体工艺过程控制和优化的重大发展, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率
Aston™ 是一款全新设计坚固耐用的紧凑型在线质谱仪, 适用于半导体制造和工业过程控制应用中气体监测和控制, 高定量精度和实时性与生产稳健性和可靠性相结合, 例如半导体 dry pump 尾气侦测分析, 实现在线监控,诊断.
CVD / ALD: 氧化物-氮化物过渡及成分分析
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching:识别跟踪分子
若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱仪详细信息或讨论, 请联络上海伯东叶女士
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上海伯东版权所有, 翻拷必究!- 产品优势
- 上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™, 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断, 为半导体过程控制提供解决方案, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 在现有生产工艺工具上加装 Aston, 可在短时间内实现晶圆更高产量!
仪器分类: | 四极杆 | 质量范围: | 2-285 |