大面积金刚石自支撑膜机械抛光新技术3-1

设 计 并 用 气 雾 化 法 试 制 以 为 基 的 含 预 合 金 粉 末 ，以 此 为 粘 结 胎 体

3.3 不同金刚石粉颗粒尺寸对磨削速率的影响 通过之前的研究结果可以知道，在同一个转速对不同的金刚石粉颗粒的

3.2 不同转盘转速对磨抛速率的影响 选用粒度为200/230 和140/170 的金刚石粉在平盘上分别以3

4. 结 论 长期以来本实验室在进行金刚石自支撑膜后续加工的领域里碰到的难题是磨削速率太 低，安全性也低，容

2. 试 验 金刚石自支撑膜是由本实验室的100KW 级高功率直流电弧等离子体溅射化学气相沉积系统制备而成，

1北京科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所，北京（100083） 2沈阳科晶设备制造有限公司，沈阳（11

GATAN 第二代精密刻蚀镀膜仪(PECS II)是一款桌面型宽束氩离子抛光及镀膜设备对于同一个样品，可在同

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引擎润滑油能减少金属和金属之间的摩擦，除去有害残渣来保持内部部件干净，且在高温条件下也可以保持稳定性，从而有