大面积金刚石自支撑膜机械抛光新技术4

设 计 并 用 气 雾 化 法 试 制 以 为 基 的 含 预 合 金 粉 末 ，以 此 为 粘 结 胎 体

3.3 不同金刚石粉颗粒尺寸对磨削速率的影响 通过之前的研究结果可以知道，在同一个转速对不同的金刚石粉颗粒的

3.2 不同转盘转速对磨抛速率的影响 选用粒度为200/230 和140/170 的金刚石粉在平盘上分别以3

3. 结果与讨论 3.1 不同研磨盘对金刚石自支撑膜磨抛速率的影响 选用粒度为100/120 的金刚石粉分别

2. 试 验 金刚石自支撑膜是由本实验室的100KW 级高功率直流电弧等离子体溅射化学气相沉积系统制备而成，

1北京科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所，北京（100083） 2沈阳科晶设备制造有限公司，沈阳（11

GATAN 第二代精密刻蚀镀膜仪(PECS II)是一款桌面型宽束氩离子抛光及镀膜设备对于同一个样品，可在同

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引擎润滑油能减少金属和金属之间的摩擦，除去有害残渣来保持内部部件干净，且在高温条件下也可以保持稳定性，从而有