摘要
自 70 年代初以来,旋转分配的 HMDS 底漆已被用于提高光刻胶对基材的附着力。 目前,HMDS 气相底漆已成为一种成熟且广泛使用的光刻胶涂层技术。 由于减少了化学品消耗,并且经过处理的表面在数周内保持化学稳定性,因此蒸汽底漆更安全、更便宜。 在这篇综述论文中,我们讨论了蒸汽灌注程序的各个方面; 旋涂、轨道分配HMDS 程序与 YES -HMDS Vapor Prime Oven 系统之间的比较结果。 我们还提供了一个统计设计实验 (DOE) 的示例,用于优化特定应用的过程参数,并总结了在德克萨斯大学达拉斯分校进行的统计设计实验 (DOE) 的结果。
介绍
HMDS(六甲基二硅烷)首先在美国专li 3,549,368 中由 IBM 的 R. H. Collins 和 F. T. Devers (1970) 描述为半导体应用的光刻胶粘合促进剂。 从那时起,HMDS 蒸气底漆已成为光刻胶涂层应用中一种广为人知的shou选技术。 它允许减少化学消耗,可以在数周内保持化学稳定性(Ut,UCB)。 除了适当的附着力外,表面水分也是一个主要因素,它也会降低抗蚀剂的附着力,并可能导致抗蚀剂图案剥落或通过抗蚀剂下的裂缝进行不需要的横向蚀刻。 YES Vacuum Vapor prime 提供了在同一工艺室中结合脱水和灌注的优势。
“Yield Engineering Systems 结合了最有效的真空烘烤和蒸汽底漆应用方法。通过使用相同的腔室,该系统为脱水和蒸汽灌注创造了一个加热的真空环境,大大降低了晶片再水化或污染的风险。”
– 普林斯顿大学,微/纳米制造实验室
天津市拓普仪器有限公司原天津市光学仪器厂,是国家定点生产制造物理分光仪器的ZD企业公司现位于天津市南开区高新
用实际体系调试QCM的说明,根据所提供的实验方法及结果调试及检验PAR公司电化学适应晶体分析仪的工作状态 Q
This technical note addresses two aspects of electroch
拉力试验机的安装步骤说明 拉力试验机应安装在清洁、干燥、无震动而且室温为20℃±10℃房间内,并注
302nm中波紫外光,对核酸分子破坏作用小,有利于样品回收; 配专用防霉紫外滤色玻璃,滤光后紫外线更纯净;
收集试管:BSZBS-100型 100支 BSZBS-160型 160支 BSZBS- 40型 40支 B
本仪器控制系统采用德国西门子PLC,通过7寸彩色触摸屏进行参数设置和操作,可以根据实验需要设定冲击负荷及实验
【概述】ST139电子粉质仪是测试小麦粉面团流变学特性的专用仪器,也是当前我国国内各级质量检测机构进行小麦粉
方法: HPLC 基质: