请教PVD离子镀膜机，漏气问题，， 来了5位师傅都解决不了啊，
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抽完真空，开始充气，每次冲到50个气体左右就真空就开始 持续下降（但真空能保持一个晚上不下降)，而且每次都如此，规律很强， 炉体。弧。靶。各个泵都没问题， 扩散泵的油也换了，炉体也重新加焊了，都解决不了，个位有遇到过吗，怎么弄啊谢谢了，
全部评论(1条)
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- plhhhhhhhhhhh 2013-07-26 00:00:00
- 请问充气用的是什么机构？有很多设备上充气口用的是压电阀，这个阀门在充气的时候开，不充气的时候关，阀门后面还有调节充气的机构，例如质量流量计。 下面是一种假设：如果你的设备压电阀坏了，开始充气后，真空下降，这个时候充气的流量调节机构应该起作用，例如让气流变小或者不冲，但是压电阀或者质量流量计不能正常运作，导致持续的往里面充气，导致看起来是漏气，实际上是无限制充气。 另外一种假设：压电阀与真空室接口处，靠后一点点的地方，管路漏气了，只要打开充气，那么就会一直持续的漏气进去。 请参考以上2种可能，并试验其是否有效。
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