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脉冲激光沉积系统为一种在化学领域进行应用的工艺试验仪器。脉冲激光沉积,又被叫做脉冲激光烧蚀,为一种通过激光轰击物体,之后在不同的衬底上沉淀轰击出来的物质,使沉淀或者薄膜获得的一种手段。
脉冲激光沉积系统简介
近年来,薄膜科学伴随着现代科学和技术的发展已经变成快速发展的学科领域之一,为研究材料科学和凝聚态物理学的一个重要研究领域。薄膜研究的主要方面是功能薄膜,其除了所具有的物理内涵非常丰富,并且其非常广泛地应用于微电子、光电子、超导材料等领域。
长时间以来,溶胶- 凝胶法、金属有机化学气相沉积、分子束外延、磁控溅射沉积、离子束溅射以及真空蒸发沉积等多种制膜技术和方法被人们发明了出来。上述方法的特点各有不同并且应用于一些领域。然而因为上述方法各有各的局限性,对于薄膜研究的发展及多种薄膜制备的需要依然不能够满足。脉冲激光沉积技术的特点随着激光技术和设备的发展,尤其是高功率脉冲激光技术的发展慢慢地为人们所认识和接受。
脉冲激光沉积系统发展前景
透过脉冲激光沉积技术的原理、特点能够知晓,该薄膜制备技术十分具有发展潜力。伴随着辅助设备和工艺的进一步优化,其在半导体薄膜、超晶格、超导、生物涂层等功能薄膜的制备方面发挥的作用非常重要,并且可以使得薄膜生长机理的研究加快以及使薄膜的应用水平提高,使得料科学和凝聚态物理学的研究进程加快,与此同时也将一种行之有效的方法提供给了新型薄膜的制备。
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