三维光学轮廓仪在光学领域的解决方案

本文由 冠乾科技（上海）有限公司 整理汇编

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• 三维光学轮廓仪在光学领域的解决方案

  光学元件在各个领域都有广泛应用，对光学元件的表面加工精度提出越来越高的要求。如何检测光学元件的加工精度，从而用于优化加工方法，保证ZZ元器件的性能指标，是光学元件加工领域的关键问题之一。 光学元件的加工精度包括表面质量和面型精度，这些参数会影响其对光信号的传播，进而影响ZZ器件的性能。此外，各种新型光学元件也需要检测其表面轮廓，比如非球面，衍射光学元件，微透镜阵列等。除了ZZ光学元件的加工精度以外，各种光学元件加工工艺也需要检测中间过程的三维形貌以保证ZZ产品的精度，包括注塑、模压的模具，光学图案转印时的掩膜版，刻蚀过程的图案深度、宽度等。[详细]

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