NPflex 大样品计量检测光学轮廓仪

NPflex 大样品计量检测光学轮廓仪

针对大样品设计的非接触测试分析系统

（1）灵活测量大尺寸样品，满足高难度测量角度的测量

（2）三维表面信息测量

（3）垂直方向纳米分辨率提供更多的细节

（4）快速获取测量数据，测试过程迅速

布鲁克的NPFLEX™3D表面测量系统为精密制造业带来的检测性能，实现更快的试产扩量时间，提高了产品质量和生产力。基于白光千涉的原理，这套非接触系统提供了诸多先进的优点，远超通常接触式坐标测量仪(CMM)和工业级探针式轮廓仪的测量技术所能提供的。这些测量优势包括高分辨的三维图像，进行快速丰富的数据采集，帮助用户更深入地了解部件的性能和功能。积累几十年的干涉技术和大样品测量仪器设计的经验，NPFLEX™3D可以灵活地测量大尺寸样品的光学测量系统，而且能够快捷地获得从微观到宏观等不同方面的样品信息，可用于表面粗糙度，RDLxian进封装工艺厚度等测试。

NPflex 大样品计量检测光学轮廓仪其灵活性表现在可用于测量表征更大的面型和更难测的角度

（1）创新性的空间 设计使得可测零件(样品)更大(高达330毫米)、形状更多

（2）开放式龙门、定制的夹具和可选的旋转测量头可轻松测量待测部位

三维表面信息测量

（1）每次测量均可获取整个表面高度信息，用于各种分析

（2）更容易获得更多的测量数据来帮助分析

垂直方向纳米分辨率提供更多的细节

（1）干涉技术实现每一个测量象素点上的亚纳米级别垂直分辨率

（2）工业界使用多年业已验证的干涉技术提供具有统计意义的数据，为日渐苛刻的加工工艺提

供保障

测量数据的快速获取保证了测试的迅速

（1）少的样品准备时间和测量准备时间

（2）比接触法测量(一条线)更大的视场(一个面)获得表面更多的数据

技术参数