扩散泵使用事项

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵使用事项

下述为扩散泵的使用注意事项：

1、若在扩散泵正常工作时，真空度突然降低，那么应当shou先对加热器断路与否进行检查，然后再对是否有漏点存在进行检查。

2、如果新安装的扩散泵不能够达到极限真空度，那么应当对密封可靠与否以及装配正确与否进行检查。

3、由于前级机械泵变坏后，会对油扩散泵的正常工作产生直接影响，因此在扩散泵工作过程中，应当对前级机械泵的工作情况加以注意。

4、机械泵的极限压力应当低于扩散泵前级压力一个数量级为基本要求。

5、需要定期对泵的性能进行检查，将扩散泵油更换成符合要求的，可以参考使用说明书。

6、扩散泵在加热前及工作过程中必须使冷却水保持畅通，在加热停止以后，必须对泵油已经冷却完全才可以将冷却水关闭，具体冷却到什么温度才可以将冷却水关闭。

7、扩散泵在工作停止时，真空状态应当在泵内保持，防止大气放人导致泵油氧化，从而使泵油寿命得以延长。

8、只有扩散泵的前级真空被达到，才可以进行加热，不然的话，泵油的氧化会加速。

9、干燥、无腐蚀、无灰尘气体应当被抽。