扩散泵系统

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵系统：

该系统为上个世纪九十年代研发的新型的大口径扩散泵。在传统的扩散泵上的改进相当重大。下述为其主要的特点：

1、有较大的抽速。每秒3000-50000升六种规格为抽速范围。上凹槽位于泵壁，在凹槽内卧着冷却水管，使得接触面积大大增加了，有着较好的冷却效果。在2003年进一步地改进了扩散泵。水冷夹层为水冷管所改。全不锈钢材质为扩散泵的整体所改，从而使泵的性能指标得到了进一步的提高。

2、油蒸汽有着较低的返流率，外置水冷挡板不加，普通矿物油被使用。

3、抽气曲线上，在入口压力为1-e帕时，达到zui大的抽速，与此同时具有较为稳定的抽速。

4、采用插入扩散泵内部的多支加热棒加热，有着较高的传热效率以及较短的预热时间。

5、为了避免泵油过热，过热装置被装了起来。泵油的质和量能够利用观察窗随时进行观察。注油口和放油口被设置于泵上。在换油的时候，不需要从真空系统中拆下扩散泵。zui大允许前级压力高是60帕。