原子力显微镜百科

Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比，高真空测量具有准确度好、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点。

高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量，晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的，对于先进的元件制造商，芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制。

对于工程师来说，识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程，Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别，通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率。

Park Systems推出NX-3DM全自动原子力显微镜系统，专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角的测量而设计。

CSI是一家法国科学设备制造商，拥有专业的AFM设计概念，以及为现有的AFM提供设计选项。它避免了激光对准需要预先定位针尖的系统，针尖/样品的顶部和侧视图，结合垂直的马达控制系统，使预先趋近更加容易。

EM-AFM可在SEM中同时提供原子力显微镜成像和纳米机械测量。它综合了这两种技术的优点，可高速获得高分辨率的三维图像，并且在微纳米和亚纳米尺度上实时观察纳米级力的相互作用，与常规SEM/FIB兼容，