半导体晶圆PL光谱测试系统
— 荧光光谱/荧光寿命/膜厚/翘曲度/反射率
产品概况
半导体晶圆PL光谱测试系统针对第三代半导体，如GaN、InGaN、AlGaN等，进行温度相关光谱和荧光寿命测试。同时可测量外延片的膜厚、反射率及相应的Mapping图。
01.半导体晶圆检测的光谱测试系统
02.荧光光谱
03.系统特点
04.系统特点
05.性能参数
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丨关于我们About Us
自1999年成立，自主研发生产:荧光/拉曼光谱系统、光谱仪、太阳能电池检测仪器、光源及探测器、电控/手动精密位移台、调整架、光学平台、光学元件等系列产品。
欢迎咨询：010-56370168-696
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