上海张江集成电路检测基地启动 高端设备国产化迈入7nm时代
近日，国产高端集成电路量检测设备领军企业中科飞测，于上海张江科学城召开 “集成电路量检测设备合作伙伴大会”，并正式启动张江研发中心及生产基地建设项目。此举标志着国产半导体前道量检测设备迈向规模化、智能化发展新征程，有望攻克 7nm 以下先进制程检测技术难关，打破国外长期垄断局面。
技术突破：向 7nm 制程发起冲击
此次活动中，中科飞测重磅亮相最 新研发成果 —— 全自动光学量测设备 SF - 800。该设备可精 准覆盖 28nm 至 5nm 工艺节点的薄膜厚度、关键尺寸测量需求，测量精度达到惊人的 0.1nm，且效率较上一代产品提升 40%。公司 CTO 透露，目前该设备已在某头部晶圆厂顺利完成 7nm 工艺缺陷检测验证，计划于 2024 年实现量产交付。
据 SEMI 数据显示，2022 年全 球前道量检测设备市场规模高达 112 亿美元，但国产化率不足 5%，高端设备领域长期被科磊（KLA）、应用材料（AMAT）等国际巨头垄断。中科飞测凭借多光束干涉技术与 AI 缺陷分类算法，将误报率控制在 0.5% 以下，成功在中芯国际、长江存储等企业实现进口替代，为国产设备争得一席之地。
战略布局：构建全链条产业生态
此次启动的张江研发中心及生产基地总投资 15 亿元，规划建设 8 条智能化产线。预计 2025 年投产后，年产能可达 2000 台套，产品涵盖光学量测、电子束检测、X 射线检测三大产品线。
值得一提的是，基地内设立联合实验室，与中科院微电子所、复旦大学微电子学院携手共建 “缺陷数据库”，可模拟 5nm 以下工艺的 3000 种缺陷类型，为算法迭代提供坚实的数据支撑。
行业影响：开启国产替代黄金期
随着国内晶圆厂扩建步伐加快，2023 年新建产能占全 球 70%，量检测设备需求呈现爆发式增长。中科飞测的规模化布局恰逢其时，其设备价格较进口产品低 30% - 50%，且响应速度更快。相关行业采购负责人表示，以往更换科磊设备零件需等待 45 天，而中科飞测承诺 48 小时内到场服务。
政策层面也传来利好消息，上海发布的《集成电路装备专项扶持计划》，对采购国产前道设备给予最 高 30% 补贴。预计到 2025 年，国产前道量检测设备市占率将从目前的 5% 提升至 15%，释放超百亿市场空间。
随着张江基地的投产，中国集成电路产业有望在量检测设备领域实现重大突破，张江基地将成国产设备“创新引擎”，向全 球第 一梯队发起冲击。
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