岱美中国拿到客户1台高温薄膜应力测量仪的订单
此客户位于江苏无锡地区,是在深圳证券交易所上市企业,主要致力于电子半导体材料,深冷复合材料以及塑料助剂材料研发和生产。该客户以多种方式参与到晶圆制造及封装、平板显示等电子制造产业链各个环节,为客户提供多方位的产品和技术服务,并使用新的业务模式提升高附加值满足市场的需求;同时该客户具有领先的深冷复合材料技术,针对以三航(航空、航天和航海)为代表的高端装备制备需求提供专业性的解决方案。目前该客户采购岱美公司推荐的薄膜应力测量仪主要用于从小片到最大8“样品的翘曲及薄膜应力测量,设备具备最大可升温至500度的功能。
薄膜应力仪的用途:用于薄膜的热力学性能和稳定性特性的测试。利用激光照射在样品表面,检测激光反射方向。激光反射的位置及方向直接反映样品表面的形貌,通过比较半导体材料镀膜前后衬底弯曲的变化,从而计算出材料应力大小。
测量附着在基板表面上的薄膜引起的基板曲率半径变化量。双光源扫描(可见光激光源及不可见光激光源),系统可自动选择最佳匹配之激光源;系统内置升温、降温模拟系统,便于量测不同温度下薄膜的应力,温度调节范围为室温至500℃;自带常用材料的弹性系数数据库,并可根据客户需要添加新型材料相关信息至数据库,便于新材料研究;形象的软件分析功能,用于不同测量记录之间的比较,且测量记录可导出成Excel等格式的文档;具有薄膜应力3D绘图功能。
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