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• 2026-01-30 13:15发布了行业资讯

  岱美又收到老客户HERZ主动式防振系统AVI-400XL/LP+LFS-3订单

  位于上海市的此客户，是为量子技术等全球前沿的科研及应用提供低温技术及装置的开发、集成、应用、销售、维修及售后服务的高科技企业，为中国国内绝大多数从事量子计算研究的大型商用公司及科研小组提供了技术服务。

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• 2026-01-30 13:15发布了技术文章

  实测案例——MEMS 应用中 25 μm 光斑尺寸下的悬空有源硅膜厚度测量

  基于硅的传感器因其高性能、低成本和小型化特点，已广泛应用于各类 MEMS（微机电系统）应用中。无论是悬空在图形化硅膜上，还是基于 SOI（绝缘体上硅）的传感器，其有源硅层（Active-Si）的厚度测定对于控制最终器件平台的性能至关重要。

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• 2026-01-30 13:15发布了技术文章

  用于制备高保真图案的优化紫外纳米压印工艺（一）

  纳米压印光刻技术能够以高度的灵活性，针对不同应用（如生物传感、光管理）制造出微米/纳米级的图案，在分辨率、图案形状及基板尺寸方面均表现出色。传统上，若要制造 3D 结构或高分辨率图案，通常需要极其复杂的光刻工艺

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• 2026-01-26 11:45发布了技术文章

  晶圆级纳米压印光刻：畸变改善与稳定化（三）

  在本文中，我们首先阐述了从套刻测量数据中提取由纳米压印光刻工艺引起的畸变的方法论。基于该方法，我们首先证实了畸变并非径向效应，且在标准工艺参数下，压印方向（Y轴）的畸变更为显著。

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• 2026-01-26 11:30发布了技术文章

  实测案例——平面光波导局部芯层与包层厚度的测定

  近年来，基于硅的光子系统（例如 SOI 和 SiN）引起了极大的关注，旨在利用微电子工业中已发展成熟的加工工艺。其中，包层与芯层的特性（如厚度、折射率等）是波导设计中最关键的参数，它们直接影响光的限制能力、弯曲损耗以及吸收特性 [1]。

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• 2026-01-19 15:00发布了行业资讯

  岱美仪器拿到客户1台膜厚测量仪ThetaMetrisis FR-ES的订单

  客户位于苏州吴江经济技术开发区，主要致力于半导体检测设备的研发与产业化，公司团队具有10年以上半导体检测设备开发与项目经验针对半导体制程中的不同检测需求，设计多种类型检测设备，用于替代当前国外进口主流设备

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• 2026-01-19 14:30发布了技术文章

  实测案例——薄金属膜及超薄金属膜厚度测量

  薄膜厚度对于涂层性能至关重要，特别是对于薄金属膜及超薄金属膜更是如此。因此，采用高精度且非破坏性的方法来表征此类薄膜显得尤为关键。

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• 2026-01-19 14:30发布了技术文章

  晶圆级纳米压印光刻：畸变改善与稳定化（二）

  为了进行畸变分析，并避免过大的平移和旋转对套刻精度测量造成干扰，本研究对工艺流程进行了调整，使其不同于标准的光刻-刻蚀流程。首先在空白硅晶圆上进行的是纳米压印，第二步则是使用 248 nm 波长设备进行的光学光刻，且过程中不包含任何刻蚀步骤。

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• 2026-01-12 10:45发布了技术文章

  晶圆级纳米压印光刻：畸变改善与稳定化（一）

  纳米压印光刻已不再是新兴技术，但自首次报道以来，其在工业应用方面已取得了巨大进展。主要的技术演进之一是采用了软质印章介质，目前这已成为一项标准技术。EVG 公司推出了采用整片晶圆压印解决方案的该类技术，且近五年来所取得的成果均处于行业领先水平。

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• 2026-01-12 10:30发布了行业资讯

  岱美仪器拿到客户1台膜厚测量仪ThetaMetrisis FR-Scanner的订单

  客户位于美丽的厦门市，成立于2011年，隶属于台湾某科技股份有限公司，是一家工艺能力高达0.35μm 6英寸集成电路晶圆加工高科技企业。主要从事集成电路与特殊半导体器件等产品的研发、制造和销售。

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• 2025-12-30 10:45发布了技术文章

  市场上有哪些封装技术可供选择？

  为了扩大微凸点，Imec开发了一种金属垫片工艺。和以前一样，微凸块仍会在模具上形成。在Imec的工艺中，假金属微凸块也形成在模具上。虚拟的凹凸类似于支撑该结构的微小光束。“将虚拟金属垫片微型凸块引入3D晶片对晶片的堆叠中

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• 2025-12-30 09:30发布了行业资讯

  岱美仪器拿到客户1台椭偏仪FilmSense FS-8 的订单

  客户总部位于江苏省，是国家火炬计划重点高新技术企业、江苏省制造业突出贡献优秀企业。公司的主要产品包括功能性薄膜材料、电子级胶粘材料、热管理复合材料和薄膜包装材料四大类，主要应用于消费电子、新型显示、新能源汽车、家用电器、陶瓷电容等重点领域

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• 2025-12-30 09:30发布了技术文章

  实测案例——精确、非接触式在线PET薄膜厚度测量

  FR-inLine 是一种在线非接触式测厚仪，专为实时测量透明和半透明单层薄膜、多层薄膜堆叠，以及大多数以片材或带材形式生产的材料的厚度而设计。在本应用说明中，我们使用 FR-Tools 演示了对 PET 薄膜进行的在线厚度测量。

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• 2025-12-16 15:45发布了技术文章

  用于增强现实波导制造的纳米压印光刻技术（三）

  纳米压印光刻（NIL）近年来已从一种主要用于研发和利基市场的技术，发展成为推动新兴产业趋势的关键变革性技术。特别是增强现实波导器件，其进入消费市场依赖于复杂结构的高效制造能力以及相应的生产成本优势。

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• 2025-12-16 15:15发布了行业资讯

  岱美仪器用FR-ES膜厚测量仪成功开拓车灯镀膜市场

  此客户总部位于深圳，是在香港和深圳两地上市的世界500强企业，业务横跨汽车、电子、新能源、轨道交通四大产业，从能源的获取、存储，再到应用，全方位构建零排放的新能源整体解决方案，致力于用技术创新，满足人们对美好生活的向往

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• 2025-12-16 15:15发布了技术文章

  实测案例——聚合物在玻璃基底上的相对透射雾度测量

  术语“雾度”用于描述材料因光的前向散射而呈现出的轻微浑浊外观。透射雾度定义为试样对光的散射作用，这种散射会降低透过材料观察物体时的对比度。在本应用说明中，我们使用FR-Tools测量相对透射雾度。

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