“超级易用的彩色扫描电镜ColorSEM”答疑汇总

上周五，我们在Thermo Scientific™ Prisma E扫描电镜机台上直播演示了ColorSEM技术，我们汇总了直播中的在线问答，您也可以在我们的公众号里观看直播回放视频。

Q：元素mapping速度比普通能谱要快很多呢，这是什么原理呢？

ColorSEM的算法与普通能谱不同，参考了SEM图像的衬度。SEM的图像成像速度远大于传统能谱面分布的速度。ColorSEM能谱集成后用的是SEM的图形发生器，没有延时，所以Mapping的速度会快上几倍。

Q：为什么传统能谱无法区分S和Mo元素，ColorSEM却能区分出来两者？

这是S的K峰和Mo的L峰分别在2.31KeV和2.29KeV，传统能谱很难通过能量区分两种元素。如果想要区分两种元素，需要更高的电压激发出Mo的K峰 （17.4KeV）。通过判断Mo的K峰来确定是否有Mo元素存在。然后通过专业的谱峰剥离技术来区分两种元素。在传统能谱上，这个功能是选配的。

ColorSEM的图片能够快速区分两种元素，是通过背散射图像的衬度去实现的。S跟Mo两种元素的原子量相差很多，所以背散射的图像也会有明显的衬度差别。ColorSEM的算法是结合BSE和EDS两种信息一起计算，反推出成分的，所以能快速区分S与Mo。

Q：不导电的岩石样品，也能用ColorSEM吗？

岩石样品或一些不导电的样品，可以有两种选择，一个是喷碳处理，另一个是低真空模式。这两种方法，都可以使用ColorSEM去获取所需信息。