
目前先进的FIB系统为双束,即离子束和电子束(FIB-SEM)系统,也就是在SEM微观成像实时观察下,用离子束进行微纳加工,具有离子注入、离子溅射、TEM试样制备等多种功能。
而刚刚在ZG科学院 · 物理研究所落下帷幕的“2018年第九届全国FIB技术及学术交流研讨会”是国内FIB一年一度的盛会,自2010年起已连续成功举办了八届。

2018年第九届全国FIB研讨会现场
本届全国FIB研讨会由ZG电子显微学会FIB专业委员会主办,举办地点在北京中科院物理所D楼,研讨会邀请了百余位相关领域的专家、研究者和设备厂商就聚焦离子束技术的基础和应用研究等ZX进展进行了深度交流。作为电子显微镜及聚焦离子束等相关设备的主要供应商,TESCAN受邀参加。
在研讨会上,TESCAN产品经理Ondrej NEZHYBA向大家展示了TESCANZX的双束FIB新品S9000X Xe plasma FIB-SEM系统。

Ondrej NEZHYBA介绍TESCAN新品S9000X
TESCAN S9000X是TESCAN于今天8月份发布的氙等离子源的双束FIB,是一个强大的双束电镜分析应用平台,配备超快速的氙等离子源,具有极高的精度和极高的效率。S9000X配备了TESCANZX一代Triglav™镜筒的探测器系统和iFIB+™离子镜筒,除具有非常优异的表面灵敏度和对比度外,还大幅提升了大体积样品微加工和3D微量分析的能力。

TESCAN双束新品S9000X Xe plasma FIB-SEM
“原位应用和分析扩展能力一直都是TESCAN电子显微镜和聚焦离子束系统的一个QL优势,S9000X不仅仅是一个可实现超快速微纳加工的双束平台,更是一个强大的综合微观分析平台。”Ondrej博士在报告中介绍到,S9000X除了可以实现电镜常规配置和应用外,还可以与Raman、TOF-SIMS一体化配置,这也使得S9000X一经推出便很快受到市场欢迎。

功能强大的微纳加工和综合微观分析平台
Ondrej博士高兴的向大家提到,“在TESCAN S9000X发布后不久,清华大学材料科学研究所ZX实验室就采购了一台配置有Raman和TOF-SIMS的S9000X Xe Plasma FIB系统。”截至目前,国内已有超过6套TESCAN电镜-拉曼联用系统和5套TESCAN双束FIB-TOF-SIMS联用系统。

清华大学采购了一台配置Raman,TOF-SIMS的S9000X
TESCAN独有的解决方案能迅速受到市场的认可和欢迎,这也充分体现了TESCAN显微镜系统在微区综合分析能力上的强大优势。基于TESCAN产品“All-In-One”的设计理念,用户可以根据需要,非常方便地加配原子力显微镜、EBL、EBIC、CL及原位的加热台、冷台、拉伸台等探测器和分析拓展附件,为科研创造更多可能!
感谢各位老师对TESCAN的认可和支持,期待2019年在美丽的金陵古都与大家再次相聚!

期待 2019年全国 FIB大会再聚!
更多内容请搜索关注“TESCAN公司”ZG官方微信。
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