康帕因 石墨烯生长设备

　　主要研究内容：基于微波等离子体CVD工艺石墨烯规模化制造装备及工艺
　　本研究方向主要研究基于微波等离子体CVD工艺石墨烯规模化制造装备及工艺并实现其在石墨烯电缆、石墨烯导热膜等方面的应用。
　　研究规划分4个阶段：
　　1、实验室级石墨烯生长工艺及优化催化剂层、Ni基Cu基衬底石墨烯生长工艺实验参数优化，并对多层石墨烯的热学、力学、电学、光学特性进行研究。
　　2、基于微波等离子体CVD工艺石墨烯规模化制造装备的设计及制造；
　　3、实验室工艺在生产设备上移植的综合试验；
　　研究轴向/径向多层石墨烯厚度均匀的控制；米级幅面图形化优化工艺研究；生产设备移植工艺要素的优化；工艺集成研究与实验等。
　　4、石墨烯电缆、石墨烯导热膜应用示范
　　二、能源领域
　　面向国家能源与环境所需新材料的重大战略需求，聚焦石墨烯类二维材料研究国际前沿，探索相关应用关键科学问题，突破新材料、新工艺、新器件的技术瓶颈与开发壁垒，力争国际yi流的创新性科研成果，打造具有国际化特色的创新团队，培育具有国际影响力的高端学术人才。