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德国布鲁克 硅片表面形貌测量VIT

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硅片表面形貌测量VIT系列

NEW: Virtual Interface Technology for 3D-IC Metrology:
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3DIC TSV and BWS TTV硅片表面形貌测量
Film Stress薄膜应力量测仪
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Thin wafer metrology 晶圆测量学
Film Adhesion漆膜附着力测试NEW: Virtual Interface Technology for 3D-IC Metrology:
-TSV profile (depth,  bottom CD, tilt, SWA)
-Residue Detection
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-Copper Nail Height
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