桌面式主动隔震平台/隔振台

精密仪器设备、显微镜高性能隔振

ArisTT系列-桌面式主动隔振台

ArisMD系列-模块式主动隔振台

昊量光电新推出AFM、STM、台式扫描电镜、数字显微镜，SEM/TEM等的主动隔振解决方案，采样完全解耦的结构设计，有效隔离了来自地板的振动和由工具产生的振动，实现六自由度主动隔振，体积小质量轻负载能力强，易于集成到各类工作环境中，有效改善显微镜性能和图像质量。桌面式主动隔震平台/隔振台

桌面式主动隔震平台/隔振台产品实图：

桌面式主动隔震平台/隔振台透过率曲线：

桌面式主动隔震平台/隔振台主要特点：

六自由度

隔振频率0.5Hz-100Hz

可变阻尼

内置人工智能特性

可通过软件激活带宽

远程控制

内置实时频谱诊断和分析工具

允许测试目标系统或设备在不同振动条件下的性能

调整不同的频率和振幅

再现真实环境条件，验证目标系统内部组件对振动的响应

内置的能力收集和分析数据

ARISTT（桌面式主动隔振台）系列规格：（原子力显微镜，生物显微镜，半导体等）

实时分析工具：内置实时2通道示波器，实时2通道频谱分析仪

实时性能调整：所有6个自由度的实时/远程访问自适应控制

工作电压：AC 80-260V/50-60Hz

架构：MVIS多层隔振结构

ARISDD系列规格：（SEM，TEM，FIB，半导体等）

实时分析工具：内置实时2通道示波器，实时2通道频谱分析仪

ARISTT系列应用案例：

ARISMD系列应用案例：