美国 HVA 百万周期真空闸阀21200 系列
美国 HVA 百万周期真空闸阀21200 系列特别适合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤温度不超过 150°C的应用。超长使用寿命1,000,000 启动次数。清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵，离子泵等wan美联用。
HVA 百万周期真空闸阀21200 系列产品特点
直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器。独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小。HVA 百万周期真空闸阀21200 系列真空腔内没有机械锁，因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业。所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易。HVA 不锈钢阀体真空闸阀提
供了真空阀门业界最小的内部表面区域。阀体和所有内部部件都是在1100 ℃，1x10E-6
Torr的真空炉中一体钎焊完成，确保了阀门的最大完整性。
在保养方面，支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来。阀门手动、气动可选，标准或定制法兰满足不同应用。HVA 标准周期真空闸阀21200 系列可任意位置安装。电磁阀控制并带有手动超控。
HVA 百万周期真空闸阀21200 系列技术参数
|
阀门材质： |
|
|
阀门主体 |
304不锈钢 |
|
焊接波纹管轴封 |
AM-350 |
|
驱动轴和驱动销 |
硬质不绣钢 |
|
密封件 |
氟橡胶 |
|
真空： |
|
|
压力范围 |
1x10-9 mbar |
|
漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
|
差压关闭 |
1 bar (任意位置) |
|
开启前最大压力 |
≤ 30 mbar |
|
烘烤温度（不含电磁阀）： |
|
|
佛橡胶密封 |
150 °c |
|
驱动方式 |
手动 60 °c;气动 60 °c |
|
使用寿命：1,000,000启闭次数 |
|
|
公称通径：DN16-320 mm |
|
HVA 百万周期真空闸阀21200 产品订货号及2D,3D图展示
|
DN |
Model |
KF/ISO-F |
ISO-K |
CF-F* |
||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
mm |
inch |
Number |
3 (Bolted) |
6 (Clamped) |
0 or 4 (Conflat) |
|||
|
16 |
0.625 |
21212-006_ |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
|
40 |
1.5 |
21212-015_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
|
50 |
2 |
21212-020_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
|
63 |
2.5 |
21212-025_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
80 |
3 |
21212-030_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
100 |
4 |
21212-040_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
160 |
6 |
21212-060_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
200 |
8 |
21212-080_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
250 |
10 |
21212-100_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
|
320 |
12 |
21212-120_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
HVA 百万周期真空闸阀21200 产品部件图
美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商。美国HVA原装进口真空阀门，超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀，高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国HVA 真空阀门在ZG地区**指定总dai理商。
上海伯东版权所有，翻拷必究！
报价：面议
已咨询1279次
报价：面议
已咨询1471次
报价：面议
已咨询176次真空系统相关配件
报价：面议
已咨询1441次
报价：面议
已咨询1585次美国 HVA 真空阀门
报价：面议
已咨询54次干燥箱/烘箱
报价：面议
已咨询472次离心真空脱泡搅拌机
报价：面议
已咨询170次真空系统相关配件
润滑油
伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
氦质谱检漏仪 ASM 340 优点 1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率： 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板（有线, 无线） 5. 集成 SD卡, 方便资料处理 6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性 7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等 8. 检测时间短
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势: 1. 强大的抽空能力 2. 极短的测试时间, 3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸 4. 符合人体工学设计, 移动性强 5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准 6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用
营业执照已审核
分享
收藏
沪公网安备 31011502008050号