美国 HVA 标准周期真空闸阀11000 系列
美国 HVA 标准周期真空闸阀11000 系列满足高真空和超高真空应用。清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵，离子泵等wan美联用。
HVA 标准周期真空闸阀11000 系列产品特点
HVA 11000 系列真空闸阀有正面锁定的中心装置或一个软封的气动闸（可选择的），阀门保持关闭状态以防空气压力损失。11000 系列真空闸阀独特的气缸设计保证zuidi的冲击和振动，因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业。HVA不锈钢真空阀门提供了业界最小的内部接口。阀体和所有内部部件都是在1100 ℃，1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成，确保了阀门的最大完整性，有效消除了虚漏和缺陷部分，避免阀体变形。
阀门手动、气动三种驱动方式可选，标准或定制法兰满足不同应用。HVA 标准周期真空闸阀11000 系列可任意位置安装。
HVA 标准周期真空闸阀11000 系列技术参数
阀门材质： | |
阀门主体 | 304 不锈钢 |
焊接波纹管轴封 | AM-350 |
阀门密封方式： | |
高真空 | 氟橡胶 |
超高真空 | 铜垫圈/氟橡胶 |
真空： | |
压力范围 | 高真空1x10-9 mbar;超高真空 1x10-10 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差压关闭 | 1 bar (任意位置) |
开启前最大压力 | ≤ 30 mbar |
烘烤温度（不含电磁阀）： | |
佛橡胶密封 | 150 °c |
铜垫圈密封 | 阀门关闭 200 °c;阀门打开 150 °c |
驱动方式 | 手动 60 °c;气动 60 °c |
使用寿命：100,000启闭次数 | |
公称通径：DN16-1000 mm | |
HVA 标准周期真空闸阀应用案例
上海伯东客户某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统，采用美国 HVA 真空闸阀11000系列并搭配 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300 和涡轮分子泵 Hipace 80成功分析生长晶体表面结构。
* 鉴于信息保密，更详细的应用案例欢迎致电 021-5046-3511
HVA标准周期真空闸阀11000 系列产品部件
美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商。美国 HVA 原装进口真空阀门，超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀，高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国 HVA 真空阀门在ZG地区**指定总dai理商。
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伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
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