干式螺杆泵Hepta 630P 配置更高,集成在底座的外部热交换器替代原外壳内部的冷凝管
马达法兰通用接口设计
更大的油镜设计
50HZ 时泵的抽速提高 20%,与60 HZ 时抽速一致
冷却水入口和出口的尺寸和位置设计更人性化(详见尺寸图)
Pfeiffer 德国普发干式螺杆泵Hepta 630P技术参数:
型号 | 连接尺寸 DN | 泵抽速 m3/h | 极限压力 mbar | 噪音比 | 重量 | |||
进气口 | 出气口 | 50 Hz | 60 Hz | 气震阀开 | 气震阀关 | dB(A) | kg | |
Hepta 630P | DN 100 ISO-KF | DN 80- PN16 | 630 | 1 X 10-2 | 1 X 10-2 | <= 75 | 550 | |
干式螺杆泵Hepta 630 P 尺寸图:
干式螺杆泵Hepta 630 P的抽速:
干式螺杆泵Hepta 630 P 价格欢迎拨打销售维修专线:021-5046-3511,我们将竭诚为您服务!
德国普发 Pfeiffer 干式螺杆泵系列特别适合工业及镀膜行业,此系列真空泵是所有要求无油真空领域的理想解决方案,抽速范围从100 到 630立方米/小时。Pfeiffer 干式螺杆泵优良特性之一是经过镀膜的整体的变角度转子,保证了内部有效压缩,减少了 HeptaDry 内部能量消耗。这使得热敏气体同样可以被有效抽出。HeptaDry 系列干式真空泵适合单独用于压力至10-1mbar的工艺要求。搭配使用上海伯东 OktaLine罗茨泵,极限真空度可达到 5 *10-3mbar。此外泵内的直接气体流避免了沉积的产生。轴承和抽气室之间高品质的端面密封大大增加了产品可靠性。
上海伯东主要经营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵:应用于各种条件下的真空计,氦质谱检漏仪,质谱分析仪,以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源,美国HVA真空阀门,Polycold冷冻机等
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润滑油
伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
氦质谱检漏仪 ASM 340 优点 1. 前级泵配备旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率: 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板(有线, 无线) 5. 集成 SD卡, 方便资料处理 6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性 7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等 8. 检测时间短
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势: 1. 强大的抽空能力 2. 极短的测试时间, 3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸 4. 符合人体工学设计, 移动性强 5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准 6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用