伯东公司pfeiffer德国普发全磁浮涡轮分子 ATH 1600 MT，对氮气的抽速最高可达 1360 l/s，水冷，可加热抗腐蚀。外部分子泵驱动电路。全磁浮涡轮分子泵可以安装在任何方向。CE标志和通过无铅认证。全磁浮涡轮分子泵核心科技是五轴控制全磁浮轴承，免维护，无需润滑，保证分子泵内部清洁无油。全磁浮轴承保证了转子的稳定性，在高速运转过程中无摩擦，无磨损，低噪音低振动，可延长分子泵的使用寿命。
全磁浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT 多种配置可选 满足不同需要：
1.两种接口：DN 200/250
2.两种密封方式：ISO-F/CF-F
3.另有可远程控制款供客户选择
全磁浮涡轮分子泵ATH 1600 MT 技术参数：
轴承 | 五轴控制全磁浮轴承 |
转速 | 39000 min-1 |
对氮气的压缩比 | > 1 10 8 |
最大进气压力N2 | 2.2 hPa |
对氮气的抽速 | 1360 l/s--1600 l/s |
启动时间 | < 6 min |
极限真空度 | < 6 10-9 hPa |
重量 | 34 (分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg |
全磁浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT 对不同气体的抽速：.jpg)
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全磁浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT 尺寸图：.jpg)
伯东公司 主要经营产品 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的 真空测量(真空计, 真空规管); 氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空系统以及 Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源.
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润滑油
伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
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上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
氦质谱检漏仪 ASM 340 优点 1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率： 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板（有线, 无线） 5. 集成 SD卡, 方便资料处理 6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性 7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等 8. 检测时间短
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势: 1. 强大的抽空能力 2. 极短的测试时间, 3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸 4. 符合人体工学设计, 移动性强 5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准 6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用
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