德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 192T
德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 182
伯东公司德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 142
德国普发Pfeiffer 多功能 氦质谱检漏仪ASM 340
氦质谱检漏仪流量计检漏|伯东Pfeiffer
Pfeiffer 氢氦双检吸枪检漏仪 ASM 306 S
上海伯东德国普发 Pfeiffer 氢氦双检吸枪检漏仪 ASM 306 S, 高流量吸枪探头, 各种长度可选, 不易受到粉尘和水汽的影响, 氦气检测漏率 1X10-7 mbar l/s. 检漏仪配置符合人体工学设计的高流量吸枪探头, 更方便操作员的使用, 占地面积小, 重量仅有 22 kg, 方便携带.
氢氦双检吸枪检漏仪 ASM 306 S 优势
具有氦气和氢气测试能力
高灵敏度 (10-7 mbar l/s 范围), 实现精确测量
快速检漏测试, 并且在污染情况下易于恢复
高流量吸枪探头, 各种长度可选, 不易受到粉尘和水汽的影响
大触摸屏, 菜单直观, 易于操作
设计紧凑, 占地面积小, 便于集成到生产线中
氢氦双检吸枪检漏仪 ASM 306 S 规格
检测气体 | 氢气和氦气 |
最小可检测泄漏率, 4He | 1X10-7 mbar l/s |
最小可检测泄漏率, H2 | 5X10-7 mbar l/s * |
启动时间 | 2 min |
响应时间 | < 1 s |
吸枪流量 | 300 sccm ± 10% |
噪音值 | 55 dB (A) |
网络接口 | RS-232, I/O, Fieldbus options |
操作温度 | 10 - 40 °C |
电源 | 100 - 240 V, 50/60 Hz |
最/大电力消耗 | 300 VA |
重量 | 22 KG |
尺寸(L x W x H) | 350 x 305 x 421 |
* 最/好的灵敏度是在脱气后达到的
在售型号
ASM 306 S (RSAS00A0MM9A)
ASM 306 S, 可配置的 I/O 接口板 (RSAS00A2MM9A)
ASM 306 S, 可配置的 I/O 接口板, 以太网 (RSAS00A4MM9A)
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上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王女士
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润滑油
伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
氦质谱检漏仪 ASM 340 优点 1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率： 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板（有线, 无线） 5. 集成 SD卡, 方便资料处理 6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性 7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等 8. 检测时间短
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势: 1. 强大的抽空能力 2. 极短的测试时间, 3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸 4. 符合人体工学设计, 移动性强 5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准 6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用
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