干式真空泵ACP 15/28/40
上海伯东销售维修德国普发 Pfeiffer 气冷型干式真空泵(多级罗茨泵) ACP 15/28/40 系列,清洁无油,满足洁净干燥真空工艺的要求!干式真空泵ACP 系列抽速范围 15 至 40 m3/h,极限真空度 10-2 hPa。干式真空泵ACP 15/28/40提供标准版本 SD 系列,抗腐蚀版本 G 系列和耐水汽版本 CV 系列,满足各种真空应用
干式真空泵ACP 15/28/40 主要优势:Adixen by Pfeiffer 从1988年就成为干泵(多级罗茨泵)技术的行业,累计20年的客户经验!
1、干式真空泵非接触设计,无摩擦,不会受到颗粒的污染(在气体输送路径中不存在磨损件)
2、无烃类蒸汽的回流(ACP干泵对于泵模块是无润滑剂)
3、恒定功率(抽吸能力,最高持续进气压力和压力)
4、维护成本低,维修间隔时间超长:
ACP 15 干泵完整大修仅每 20000 小时一次
ACP 28/40 完整大修仅每 22000 小时一次
5、干式真空泵ACP 15/28/40 是涡旋泵和油泵的理想替代品
6、气冷型,更低能耗
7、变频器-计时表,远程操作模式(RS-485、干触点、Profibus可选),多转速选择(节能,噪音低)
8、多种标准接口:吹扫气体,气镇等
9、符合 CE 标准,通过 UL/CSA 认证,SEMI S2 认证
干式真空泵ACP 15/28/40 技术参数:
型号 | 接口尺寸 DN | 极限真空度mbar | 抽速 | 最大漏率 | 重量 | |
有气镇阀 | 无气镇阀 | m3/h | mbar l/s | kg | ||
ACP 15 SD | 25 | 0.1 | 3.10-2 | 14 | < 5.10-7 | 23 |
ACP 28 SD | 25 | 0.1 | 3.10-2 | 27 | < 5.10-7 | 30 |
ACP 40 SD | 40 | 0.1 | 3.10-2 | 37 | < 5.10-7 | 32 |
SD:标准版本 G:抗腐蚀版本 CV:耐水汽版本
干式真空泵ACP 15/28/40 应用:
1. 分析仪器; 2. 电子显微镜; 3. 表面分析仪; 4. 检漏仪; 5. 质谱仪; 6. 光谱仪; 7. R&D; 8.
粒子加速器; 9. 分子泵组; 10. 实验室; 11. 工业; 12. 灯具生产; 13. 真空镀膜; 14. 低温泵再生; 15.
等离子清洗; 16. 干燥; 17. Load-lock;
干式真空泵ACP 15/28/40 标准版本 SD 系列:
SD 系列适合需要进行洁净(无尘)以及抽气环境无腐蚀性气体的真空应用。标准干泵装配有一个气镇阀,便于保证轻气体的抽气能力和排水汽。三种气镇阀类型供您选择。
干式真空泵ACP 15/28/40 目前在售型号:
干式真空泵 ACP 15,SD 标准版本,单相,手动气镇
干式真空泵 ACP 15,SD 标准版本,单相,封闭气镇
干式真空泵 ACP 15,SD 标准版本,单相,气镇
干式真空泵 ACP 15,SD 标准版本,三相,手动气镇
干式真空泵 ACP 15,SD 标准版本,三相,封闭气镇
干式真空泵 ACP 15,SD 标准版本,三相,气镇
干式真空泵 ACP 28,SD 标准版本,单相,手动气镇
干式真空泵 ACP 28,SD 标准版本,单相,封闭气镇
干式真空泵 ACP 28,SD 标准版本,单相,气镇
干式真空泵 ACP 28,SD 标准版本,三相,手动气镇
干式真空泵 ACP 28,SD 标准版本,三相,封闭气镇
干式真空泵 ACP 28,SD 标准版本,三相,气镇
干式真空泵 ACP 40,SD 标准版本,单相,手动气镇
干式真空泵 ACP 40,SD 标准版本,单相,封闭气镇
干式真空泵 ACP 40,SD 标准版本,单相,气镇
干式真空泵 ACP 40,SD 标准版本,三相,手动气镇
干式真空泵 ACP 40,SD 标准版本,三相,封闭气镇
干式真空泵 ACP 40,SD 标准版本,三相,气镇
干式真空泵ACP 15/28/40 抗腐蚀版本 G 系列:
G 系列干泵适合含有少量腐蚀性气体的抽气环境。扫气管路的三个喷嘴用于稀释微量的腐蚀性气体,同时保护低压和高压球轴承。为取得轴承的**保护效果,必须将中性吹扫气体输入管路中的压力调节到 0.3 bar,以便达到技术数据中规定的吹扫气体流量。

目前在售型号:
干式真空泵 ACP 15,G 版本,单相,净化端口 R 1/4"
干式真空泵 ACP 15,G 版本,三相,净化端口 R 1/4"
干式真空泵 ACP 28,G 版本,单相,净化端口 R 1/4"
干式真空泵 ACP 28,G 版本,三相,净化端口 R 1/4"
干式真空泵 ACP 40,G 版本,单相,净化端口 R 1/4"
干式真空泵 ACP 40,G 版本,三相,净化端口 R 1/4"
干式真空泵ACP 28/40 耐水汽版本 CV 系列:
CV 系列干泵适 合抽气环境含有水蒸气的应用,当水蒸汽容量提高到 1000 g/h(在 100 mbar 和 30 °C 环境温度下),高气镇阀电流使泵升温,稀释冷凝性气体(> 2 N.m3/h 或 33 slm,在 1 bar 压力下)。带排放螺塞的外置消音器排除泵内部排气段zuidi点的液体。吹气口处喷射保护唇形密封件和轴承免受水汽干扰。ACP 系列干泵可以输送纯净水蒸气达 1000 g/h。

目前在售型号:
ACP 28,CV 版本,单相,手动气镇
ACP 28,CV 版本,单相,气镇
ACP 28,CV 版本,三相,手动气镇
ACP 28,CV 版本,三相,气镇
ACP 40,CV 版本,单相,手动气镇
ACP 40,CV 版本,单相,气镇
ACP 40,CV 版本,三相,手动气镇
ACP 40,CV 版本,三相,气镇
ACP 15/28/40系列干式粗抽泵尺寸图


ACP 15/28/40系列干式粗抽泵

Pfeiffer 干式真空泵 ACP:上海伯东真空产品事业部是德国 Pfeiffer指定销售维修中心,我司是国内代理 Pfeiffer产品的公司,100% 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售后维修服务。
上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备;美国Brooks Polycold 深冷泵;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS离子蚀刻机等。
报价:面议
已咨询1695次德国pfeiffer 旋片真空泵/干式真空泵/隔膜泵
报价:面议
已咨询1723次德国pfeiffer 旋片真空泵/干式真空泵/隔膜泵
报价:面议
已咨询1091次分子泵
报价:面议
已咨询1719次德国普发pfeiffer 分子泵
报价:面议
已咨询376次KRI 考夫曼离子源
报价:面议
已咨询331次德国普发pfeiffer 分子泵
报价:面议
已咨询1397次德国普发pfeiffer 分子泵
报价:面议
已咨询254次德国普发pfeiffer 分子泵
润滑油
伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
氦质谱检漏仪 ASM 340 优点 1. 前级泵配备旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率: 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板(有线, 无线) 5. 集成 SD卡, 方便资料处理 6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性 7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等 8. 检测时间短
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势: 1. 强大的抽空能力 2. 极短的测试时间, 3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸 4. 符合人体工学设计, 移动性强 5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准 6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用