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桌面式射频真空等离子清洗机

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桌面式射频真空等离子清洗机 核心参数
样品腔尺寸 内径:150mm; 长度:300mm 样品腔容积 5.3升
射频功率 0-300W 频率 13.56MHz

产品特点

产品说明
本产品是一款桌面式射频等离子清洗机,也是您在科研、小批量试产中进行材料表面处理、高效清洁的好帮手。 它采用304不锈钢腔体,容量高达5.3L;拥有直径100mm大尺寸可视窗口,让您对每一个工艺瞬间都能直观的了解;工作频率为13.56MHz(每秒振荡次数高达130万次),这是保证真空高效清洗的前提,通过试验发现清洗效果远远优于直流、中频等常规清洗机;它广泛应用于手机屏幕、仪表光学镜片等精密部件的高效清洗,也可用于材料表面的亲水性处理;总之,相信在您的研究下,这款产品定能为您的每一个新的工艺和配方展现它完美的表现,期待您的使用。

产品特点
1) 本产品在集成化和小型化方面具体很强的优势,相对于同等频率、功率、容量等条件下;
2) 采用7寸大尺寸触摸屏控制,轻松实现人机交互,减少复杂的机械按键和旋钮操作;
3) 面板仅保留一个电源开关,其他的控制全部交给触摸屏实现,简单易学、直观明了;
4)两路浮子流量计保证工艺气体要求的多样性;
5) 集成触摸屏控制真空泵、气路、破真空的开启和关闭;
6) 通过触摸屏可以任意设置射频功率、工艺时间、工作真空度,并具有设定参数记忆功能,避免重复性工作;
7) 内部集成自动匹配器,简化不同工艺条件下繁琐的匹配手动调节;
8) 内部集成数显真空计、功率计和定时器,实时监控真空度、功率值和工艺时间,让您对所有的工艺参数了如指掌;
9) 日期和24小时制时钟显示,提醒勤奋的您也要记得小憩片时;
10) 工艺处理完成后自动安全关闭所有部件并伴有声音报警,提醒您是时候开舱检验您的工艺效果了;

详细介绍

技术参数

产品型号 (RPC-1305)
主要部件部件名称参数指标
控制系统

集成触摸屏

7寸电阻触摸屏

等离子激发

电容耦合式(CCP)

工作时间

0-9999s(任意设定)

真空腔体

腔体容量

5.3L

腔体尺寸

内径:150mm; 长度:300mm

腔体材质

304不锈钢

舱门

铝合金舱门(配不锈钢铰链)

样品支架

铝合金筛板,厚度:3mm

射频源

信号频率

13.56MHz ±0.005%

功率范围

0-100W任意设定(功率等级200W/300W可选)

功率稳定度

±0.1%

匹配器

匹配类型

全自动匹配

匹配时间

≤3s

气路

气体测量

浮子流量计

气体通道

2通道

气体1量程

10~100ml

气体2量程

10~100ml

气路接头

外径:6mm气管

真空

真空测量

集成数显真空计

真空泵类型

双极旋片泵式

抽气速率

2L/s(4L/s可选)

极限真空度

0.067Pa

抽气接口

KF16-不锈钢波纹管

整机

整机功率

1kW

整机总尺寸

580(L) *550(D)* 230(H)mm;(其中拉手+接头:60mm; 防滑底座:10mm)

整机重量

24kg(不含真空泵及配件)

工作电压

220Vac 50/60Hz

工作环境

-10℃ -- 40℃

冷却方式

强制风冷


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