法国HORIBA UVISEL 2研究级全自动椭偏仪

技术参数：

·光谱范围：190-2100 nm

·8种光斑尺寸: 小35 X 85 um

·探测器：3个独立探测器，分别优化紫外，可见和近红外

·自动样品台尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

·样品水平度自动调整

·自动量角器：变角范围35°- 90°，全自动调整，小步长0.01°

主要特点：

·完全自动化设计，自动对焦、校正

·全新光路、电路设计，测量精度更高，速度更快

·50KHz高频PEM相调制技术，测量光路中无运动部件

·双光栅光谱仪系统，杂散光YZ水平高

·8个尺寸微光斑，可视技术

·自动平台样品扫描成像