仪器介绍:
在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。
技术参数:
可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
主要特点:
将激发和探测头引入生产设备,可实现:
动态模式:实时监测膜厚变化
光谱模式:监测薄膜的界面和组分
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SEMILAB 光谱型椭偏仪是多功能薄膜测试系统,适合各种薄膜材料的研究。
深圳浦东雄安YOLO椭偏仪价格本公司尧零智能仪器根据教学大纲要求自主研发的固定波长激光椭圆偏振仪用于大学近代物理实验,仪器集光、机、电于一体,操作简单,性能稳定,可无接触、无损伤精确测定超薄薄膜厚度。