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CMP化学机械抛光机 AP200型
- 品牌:深圳科时达
- 型号: AP200型
- 产地:韩国
- 供应商报价: 面议
- 深圳市科时达电子科技有限公司 更新时间:2024-04-26 06:25:51
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企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
韩国CTS公司的AP200型CMP抛光机是一款科研级的CMP系统,采用CTS公司工业级的设计理念,为科研工作者及先进制程开发公司提供了一套研究级别的高端设备,可兼容4寸,6寸,8寸样品。
第二、产品主要特色:
1、CMP抛光头:采用气囊加载模式,核心区,边缘区,保持环三区压力控制,可得到良好的工业级抛光效果;
2、自动上下片,自动抛光,干进湿出;
3、抛光垫修整器:摆臂式设计,由10个传感器分别控制10个区域的下压力,可保证抛光垫高水平修整;
4、抛光垫修整器:具有在线修整与离线修整两种模式;
5,工艺数据可实时监测;
6、可存储多个Recipe.
- 产品优势
- 韩国CTS公司的AP200型CMP抛光机是一款科研级的CMP系统,采用CTS公司工业级的设计理念,为科研工作者及先进制程开发公司提供了一套研究级别的高端设备,可兼容4寸,6寸,8寸样品。