真空快速退火炉/德国Unitemp/VPO-300

                                                                      12寸快速退火炉/高真空快速退火炉

• 快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

• 详细介绍

• 快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

  VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合大尺寸样品的热处理。

  
  

  仪器特点：

  - 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA；

  - 可在真空、甚至于高真空环境使用；

  - 加热区域尺寸：300毫米 X 300毫米；

  - 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；