卧式炉管清洗机 石英舟清洗设备

卧式炉管清洗机是专为半导体、光学镀膜、材料科学等领域设计的高效清洗设备，用于去除石英炉管、石英舟等器件表面的颗粒物、杂质及化学残留物，确保生产工艺的洁净度与稳定性。

一、核心功能与技术特点

高效清洗技术

DIW喷淋清洗：通过去离子水（DIW）高压喷淋，快速冲刷炉管表面颗粒物。

超声波清洗：利用空化效应分解顽固杂质，提升清洗均匀性。

抖动辅助：机械抖动设计增强清洗液与炉管的接触，提高去污效率。

自动化与安全控制

PLC智能控制：支持自动化清洗流程设定，可实时监控温度、时间、流速等参数。

安全保护：配备EMO急停按钮、强弱电隔离设计，避免操作风险；电磁阀高于液面，防止泄漏污染。

人性化结构设计

防护隔离门：采用透明PVC材质，可调节开合高度，关闭时改善工作环境，减少化学暴露。

维护便捷：底部预留储物空间，门窗可拆卸，便于管路检查与维修。

材质与耐腐蚀性

主体材质：德国进口PP板+不锈钢骨架，抗化学腐蚀，适应酸性/碱性清洗液环境。

节能环保

优化清洗工艺，减少水资源与化学品消耗，降低企业运营成本。

二、应用领域

半导体制造：石英炉管、石英舟的湿法清洗，确保芯片生产环境洁净。

光学镀膜：清洗镀膜设备炉管，提升光学元件良品率。

材料科研：实验室级炉管清洁，避免杂质对实验结果的干扰。

三、定制化服务

可根据客户需求定制清洗槽尺寸、喷淋强度、超声波频率等参数，适配不同规格炉管（如直径、长度）的清洗需求。

四、优势总结

高效洁净：多重清洗技术结合，彻底去除污染物。

安全可靠：智能化控制与安全防护设计，降低操作风险。

长久耐用：耐腐蚀材质与模块化结构，延长设备寿命。

行业适配：广泛应用于半导体、光学、科研等领域，支持个性化需求。