产品型号：
CPC-15/35/80/120/150
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
CPC系列等离子清洗机是为中试客户和工业级客户而设计的等离子体表面处理设备。配置丰富，且真空腔体里可分层，适合大多数生产场景清洗，活化、刻蚀等应用。设备可在严苛环境下稳定运行，产品性能稳定，样品处理重复性、一致性好。
二、设备特点
7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据。
PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
采用质量流量计，气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气体等气体。
采用多孔道进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
316不锈钢真空舱，洁净无污染。
全真空管路系统采用316不锈钢材质。
处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。
合理的结构设计，设备占用空间小。
可处理各种材质、形状、尺寸样品。
样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
使用成本低、耗损小。
产品性能稳定，安装维护，简单方便。
安全保护，舱门打开，自动关闭电源。
三、设备参数
型号 | CPC15 | CPC35 | CPC80 | CPC120 | CPC150 |
舱体尺寸 | W240xH240 xD260mm | W320xH320 xD350mm | W420xH400 xD500mm | W500xH500 xD450mm | W500xH500 xD600mm |
舱体容积 | 15L | 35L | 80L | 120L | 150L |
舱体材质 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 |
处理尺寸 | W240xD220mm | W320xD320mm | W420xD470mm | W500xxD420mm | W500xxD570mm |
电极分布 | 2层 | 3-4层 | 6层 | 8-10层 | 10-15层 |
射频电源 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz |
射频功率 | 0-300W | 0-300W | 0-600W | 0-1000W | 0-1000W |
匹配器 | 自动匹配器 | ||||
激发方式 | 电容式 | ||||
电 流 | 1.2A | ||||
时间设定 | 9999秒 | ||||
气体稳定时间 | 1分钟 | ||||
真空度 | 100pa以内 | ||||
控制系统 | 7寸PLC触摸屏控制 | ||||
工艺气体 | 2气路 MFC（可选装3路） | ||||
产品尺寸 | L625xW600 xH760mm | L625xW600 xH805mm | L905xW845 xH1940mm | L625xW600 xH760mm | L905xW845 xH2010mm |
包装尺寸 | L740xW775 xH1000mm | L740xW775 xH1045mm | L1015xW1065 xH2050mm | L1015xW1065 xH2120mm | L1015xW1065 xH2120mm |
真空泵 | 抽速约8m³/h | 抽速16m³/h | 抽速40m³/h | 抽速60m³/h | 抽速约60m³/h |
电 源 | AC220V 50/60Hz 552W | AC220V 50/60Hz 552W | AC380V 50/60Hz 902W | AC380V 50/60Hz 1302W | AC380V 50/60Hz 1302W |
整机重量 | 108kg | 135kg | 465kg | 485kg | 575kg |
报价：面议
已咨询163次等离子清洗机
报价：面议
已咨询338次材料与纳米科学
报价：面议
已咨询2191次CIF等离子清洗机
报价：面议
已咨询2107次CIF等离子清洗机
PLT系列恒流脉冲源表适用于可见光、大功率BAR、VCSEL阵列等大功率激光器的测试，支持脉冲、直流PIV特性曲线扫描测试和特性参数计算，支持光谱特性测试（需要外接光谱仪）。仪表集脉冲电流源、电流表、电压表和光功率计等功能于一体，具有体积小、测试速度快、使用简单的特点。
S系列源表是一款高精度、大动态范围、数字触摸的率先国产化的源表，集电压、电流的输入输出及测量等多种功能。最大输出电压300 V，最小测试电流分辨率10 pA，支持四象限工作，因此广泛应用于各种电气特性测试。
PSS SM系列是一款4通道独立的高性能精密源表，能够同时输出和测量电压电流，最大支持±30 V，±1 A直流/脉冲输出，最小脉宽可达100 μs。支持千兆以太网及RS422串口通信，支持源表标准SCPI指令集，支持多台源表同步触发，提高了系统测试效率并降低成本。
P系列脉冲源表是在直流源表上的基础上新打造的一款高精度、大动态、数字触摸源表，汇集电压、电流输入输出及测量等多种功能。最大输出电压达300V，最大脉冲输出电流达30A，支持四象限工作，因此能广泛的应用于各种电气特性测试中。
HCP大电流台式脉冲源表具备直流和脉冲输出能力，最大脉冲输出电流100A，最大输出电压100V，最大直流功率300W，最大脉冲功率5000W，支持四象限工作，输出及测量精度均可达0.1%，可广泛应用于功率MOS测试、肖特基二极管测试、整流桥堆测试以及太阳能电池模组测试等。
DPX00B双通道高精度台式脉冲源表具有多种测试模式，可显著提高测试和表征效率，广泛应用于各种电气特性测试中，特别适合现代半导体、纳米器件与材料、有机半导体、印刷电子技术以及其他小尺寸、低功率器件的特性分析
Memrecam Q1系列是针对要求较高的且需要多个相机测试环境而设计的产品。它拥有130万像素传感器，并在此分辨率下最高拍摄速度可达到2000 fps。具有紧凑坚固耐用的设计，并且有非常出色感光度，使其成为窄小空间的理想选择，例如汽车碰撞测试环境、生产设施检测和显微应用等。Memrecam Q1系列可与现有的GX系列和HX系列组合使用。
Memrecam Q2m是最小的一体化高性能Hi-G相机，2百万像素分辨率下最高帧率2,000fps。机身设计轻便，并且耐冲击。
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