FusionScope多功能显微镜

FusionScope多功能显微镜特点

简单易用

FusionScope硬件和软件经过精心设计，不仅让初学者快速上手，简单易用，同时还可以定制用户界面，提供用户所需要的所有功能。

更换样品

FusionScope更换样品仅需几分钟，简单快速。

共坐标系统

利用SEM进行实时、快速、精准导航AFM针尖，从而实现AFM对感兴趣区域的精准定位与测量。无需转移样品，原位进行80° AFM与样品台同时旋转。

实时剖面准确展示AFM探针和样品相对位置

FusionScope的特殊功能之一是剖面成像，即在测量时可以实时观察AFM悬臂的尖端。通过这种剖面工作方式，即使是难以到达的样品区域也可以用AFM探针非常精确地接近，从而测量形状复杂的样品。

自感应悬臂

FusionScope中的AFM采用自感应悬臂，无需光学对准即可提供所有悬臂电信号，实现对样品表面进行高质量、低噪音测量。性能优异、简单易用。自感探针可以让电子束大限度地进入悬臂和样品区域，实现AFM和SEM的无缝结合。

自感应悬臂功能也十分丰富，可以提供更多测量功能，如电导率、磁性、表面电位、温度及其他样品特征。自感应悬臂采用聚焦电子束诱导沉积（FEBID）工艺制备，尖端半径小于10 nm，保证了高分辨率导电或磁性成像，并具有出色的机械稳定性。

任务面板

FusionScope任务菜单帮助用户快速识别和执行所需的显微镜操作，并提供简单易用的向导式操作流程，帮助用户减少调整和管理硬件的时间，将更多时间用于收集样品图像和数据分析。

用户界面定制

FusionScope提供用户友好型软件界面，以满足用户或实验的需求。软件分为标准模式和高级模式，用户可根据具体需求进行个性化配置。软件支持日志功能和用户注释。

数据处理

每次实验都可以将数据自动存在在一个"experiment"文件中，确保在不同计算机之间方便进行数据转移和离线处理。在数据处理模块中，集成了第三方数据处理软件(例如用于AFM数据处理的Gwyddion软件)。

FusionScope多功能显微镜优势

★  Quantum Design自主研发的AFM和SEM成熟集成方案，自动化程度高，软件/硬件操作简单易用；

★  多种AFM功能与SEM原位联用，极大程度上发挥出两种常用显微镜的技术优势，实现同一时间、同一样品区域和相同条件下的原位共享坐标测量，避免样品转移过程中的污染风险，特别适合环境敏感样品；

★  多通道样品特性成像，并无缝关联到三维形貌图像中。AFM可测量的功能包括有：三维/二维表面形貌成像，力学/机械性能测量、电学测量、磁学测量；SEM配备EDS功能；

★  利用SEM进行实时、快速、精准导航AFM针尖，从而实现AFM对感兴趣区域的精准定位与测量。无需转移样品，原位进行80° AFM与样品台同时旋转。

应用领域

材料科学

纳米结构

半导体或太阳能电池行业

生命科学

......

适用材料

纳米线、2D材料、纳米颗粒、电子元件、半导体、生物样品……

设备参数

AFM

扫描范围 XY：22 x 22 μm （闭环）

扫描范围 Z：15 μm

成像噪声：<50pm @ 1kHz

悬臂探头：自感压阻式

测量模式：Contact, Dynamic, FIRE, MFM, C-AFM, …

SEM

电子源：热场发射

加速电压：3.5 kV – 15 kV

探头电流：5 pA – 2.5 nA（典型值为300 pA）

放大倍数：25X – 200,000X

探测器：In-Chamber SE Everhart-Thornley

样品

最大样品直径：20 mm（12 mm 关联工作模式）

最大样品高度：20 mm

最大样品重量：500 g

对齐方式：全自动

样品腔

典型腔室真空：1-10 µTorr

抽真空时长：<5 min

样品托倾斜角度：-10 °至 80°

系统

用电：200-230 VAC，50/60Hz；单相 15 A

尺寸（宽 x 长 x 高）：690 x 835 x 1470 mm

重量：330 kg