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仪器网>产品中心> 北京仪光科技有限公司>光学轮廓仪>新型高精度3D测量系统>共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2 测量准备

共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2 测量准备

¥1000000 (具体成交价以合同协议为准)
西班牙Sensofar S lynx2 欧洲 西班牙 2026-04-17 08:34:46
售全国 入驻:5年 等级:银牌 营业执照已审核
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产品详情:

为了获得有效、可靠的测量数据,在使用共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2前,进行充分的测量准备是必要环节。充分的准备工作可以帮助减少测量误差,提高效率,并使结果更具重复性和可比性。

1. 环境准备:

  • 稳定性:设备应放置在稳固、抗震的工作台上。避免将其安置在靠近门、走廊、大型设备或明显振源(如离心机、冲压机)的地方。即使微小的振动也可能干扰干涉测量模式的稳定性,或导致图像模糊。
  • 清洁度:保持设备周围环境清洁,减少空气中的灰尘。灰尘落入光学元件或附着在样品上,都会影响测量结果。建议在无尘或低尘的环境中使用。
  • 温湿度:维持实验室或测量室相对恒定的温度与湿度。剧烈的温度变化会导致设备部件发生热胀冷缩,可能引起测量漂移,影响Z轴测量的稳定性。一般建议在设备规定的操作温度范围内工作,并避免阳光直射设备。
  • 2. 样品准备:
  • 这是准备工作的核心,直接关系到测量成败。
  • 清洁样品:这是最关键的一步。使用适当的清洁方法去除样品表面的灰尘、指纹、油污、水渍或其他污染物。常用方法包括: 用洁净的压缩空气或吹气球吹去浮尘。 使用无尘布或棉签蘸取高纯度溶剂(如异丙醇、丙酮,需确认对样品无腐蚀)轻轻擦拭。 对于难以清洁的微小颗粒,可使用超声波清洗(需确认样品是否适用)。
  • 样品固定:确保样品在测量过程中稳固不动。对于小样品,可以使用橡皮泥、蜂蜡或专用样品夹具将其固定在载物片或样品台上。固定时需注意样品表面应尽可能水平,避免过度倾斜,以减少后续数据处理中倾斜校正的幅度。同时,固定材料不应污染或损坏样品表面。
  • 样品特性考量: 反射率:S lynx2需要样品表面反射足够的光信号。对于透光材料(如玻璃)或强吸光材料(如黑色橡胶),可能在背面涂覆反射层(如薄层金或铝)来增强表面反射信号,但这属于破坏性处理,需谨慎。 表面斜率:对于侧壁非常陡峭(接近或超过物镜数值孔径决定的接受角)的特征,可能出现信号丢失,导致该区域测量数据缺失。这需要选择合适的物镜和测量模式来优化。 透明薄膜/多层结构:测量透明薄膜上表面形貌通常没问题,但要测量薄膜厚度(需上下表面都反射)或下层结构,需要选择合适的干涉模式和分析方法。
  • 3. 设备状态确认:
  • 开机预热:设备开机后,建议等待一段时间(如15-30分钟),让光源和电子元件达到热稳定状态,再进行高精度测量。
  • 光学部件检查:目视检查物镜前透镜、样品台、参考镜(如果可见)等光学部件表面是否清洁。如有明显污渍,应按规程小心清洁。
  • 标准片验证:在开始重要测量前或定期,使用台阶高度标准片等工具快速进行一次测量,验证设备的Z轴测量准确性是否在预期范围内。这有助于建立信心并及早发现问题。
  • 4. 测量策略规划:
  • 选择测量区域:明确需要测量的具体特征是什么,是整体粗糙度,还是特定划痕、凹坑、凸起的尺寸?
  • 选择物镜:根据特征尺寸选择。低倍物镜(如2.5X, 5X)视场大,适合定位和观察大范围形貌;高倍物镜(如50X, 100X)分辨率高,适合观察微小细节。可先用低倍镜定位,再切至高倍镜测量。
  • 预估扫描范围:通过预览图像的聚焦情况,大致判断样品表面的高低落差,从而设置合理的Z轴扫描起点和终点,避免扫描范围不足或过长浪费时间。
  • 通过系统性地完成上述环境、样品、设备和测量策略的准备,用户可以为共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2的测量工作奠定一个好的基础,从而更有可能获得高质量、有意义的表面三维形貌数据。

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