“Indus系列” 线性位移台 — L050.Indus ~ L150.Indus
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 多种行程规格
· 内置高精度光学位置传感器
产品图片
产品参数
| 序号 | 产品参数 | L050.Indus | L100.Indus | L150.Indus |
| 1 | 可选版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本 |
| 2 | 外形尺寸 | 90 × 24 × 14 mm | 180 × 24 × 14 mm | 250 × 36 × 16.5 mm |
| 3 | 主体材料 | 标准版、.HV、.UHV：.NM：纯钛，陶瓷 | 标准版、.HV、.UHV：.NM：纯钛，陶瓷 | 标准版、.HV、.UHV：.NM：纯钛，陶瓷 |
| 4 | 质量（标准版） | 174 g | 388 g | 840 g |
| 5 | 运动行程 | 50 mm | 100 mm | 150 mm |
| 6 | 安装空间 | 140 × 24 × 14 mm | 280 × 24 × 14 mm | 400 × 36 × 16.5 mm |
| 7 | 速度范围 | 默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s | 默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s | 默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s |
| 8 | 驱动力 | 2 N | 2 N | 2 N |
| 9 | 保持力 | 3 N | 3 N | 3 N |
| 10 | 水平方向使用最大负载 | 1 kg | 2 kg | 3 kg |
| 11 | 双向重复定位精度 | ± 150 nm | ± 150 nm | ± 150 nm |
| 12 | 全行程俯仰 / 偏摆 | 0.2 mrad | 0.2 mrad | 0.2 mrad |
| 13 | 最小步伐（闭环） | 5 nm | 5 nm | 5 nm |
| 14 | 位置传感器类型 | 光学位置传感器 | 光学位置传感器 | 光学位置传感器 |
| 15 | 位置传感器分辨率 | 2 nm | 2 nm | 2 nm |
| 16 | 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK) | 默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK) | 默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK) |
| 17 | 控制器规格 | MC–Newton.S 系列 | MC–Newton.S 系列 | MC–Newton.S 系列 |
“Indus系列”线性位移台 — LS200.Indus
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 多种行程规格
· 内置高精度光学位置传感器
产品图片
产品参数
| 序号 | 产品参数 | LS200.Indus | LS200.Indus.E |
| 1 | 可选版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本 | 无 |
| 2 | 外形尺寸 | 82 × 295 × 20 mm | 82 × 295 × 20 mm |
| 3 | 主体材料 | 标准版、.HV、.UHV 钢，铝合金：1 kg | 钢，铝合金：1 kg |
| 4 | 运动行程 | 200 mm | 200 mm |
| 5 | 速度范围 | 默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s- | |
| 6 | 驱动力 | 3 N | 3 N |
| 7 | 保持力 | 5 N | 5 N |
| 8 | 水平方向使用最大负载 | 2 kg | 2 kg |
| 9 | 双向重复定位精度 | ± 100 nm | ± 300 nm |
| 10 | 全行程俯仰 / 偏摆 | 0.3 mrad | 0.3 mrad |
| 11 | 最小步伐（闭环） | 5 nm | 100 nm |
| 12 | 位置传感器类型 | 光学位置传感器 | 光学位置传感器 |
| 13 | 位置传感器分辨率 | 2 nm | 50 nm |
| 14 | 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK)- | |
| 15 | 控制器规格 | MC–Newton.S 系列 | MC–Newton.S 系列 |
报价：面议
已咨询52次电动位移台
报价：面议
已咨询61次常温压电位移台
报价：￥1808
已咨询338次手动平移台
报价：￥4894
已咨询234次手动平移台
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报价：面议
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报价：面议
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·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向 ·亚纳米级位置分辨率·内置电容传感器，闭环控制 ·长行程运动范围 ·直接位置检测
·超安静运动 纳米级分辨率 ·全行程运动中，保证通孔·XY一体式组合结构·内置高精度光学位置传感器 ·断电位置自保持 ·可与高精度压电扫描台堆叠组合
超安静运动 ·纳米级分辨率 ·断电位置自保持 ·并联驱动结构 ·内置高精度光学位置传感器 灵活的可定制方案
超安静运动 纳米级分辨率 ·断电位置自保持·内置高精度光学位置传感器 并联驱动结构 高刚性系统
亚纳米级位置分辨率 高速数据采集 高速通讯的位置传感方案
超微小结构 ·超安静运动 ·断电位置自保持 ·纳米级分辨率
超安静运动 ·纳米级分辨率 断电位置自保持内置高精度光学位置传感器 ·多种行程规格
·高性能驱动力 ·大负载垂直提升闭环控制，内置光栅位置传感器 ·直驱传动无间隙·优秀的导向系统 完整运动台设计，方便安装使用
营业执照已审核
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沪公网安备 31011502008050号