三自由度并联运动台 — Free3D.ZTxTy.070
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 并联驱动结构
· 内置高精度光学位置传感器
· 灵活高的可定制方案
产品图片&尺寸
产品参数
| 1 | 可选版本 | .HV,高真空版本； .UHV,超高真空版本； .NM,完全无磁版本； |
| 2 | 外形尺寸 | Ø70×82 mm |
| 3 | 主体材料 | 标准版， .HV,.UHV铝合金，钢：800 g;,NM纯钛，陶瓷：460 g |
| 4 | 最大垂直负载 | 5 kg |
| 5 | 中空孔径 | Ø10 mm |
| 6 | 运动行程Z,θX,θY* | ±2.5 mm,±9°,±10° |
| 7 | 单向重复精度Z,θX,θY | ±0.2 μm,±8μrad,±8μrad |
| 8 | 最小步伐Z,θX,θY | 10 nm,1 μrad,1μrad |
| 9 | 传感器类型 | 光学位置传感器 |
| 10 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
| 11 | 线缆&接头 | 默认：屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本： Kapton漆包线， D-Sub15(PEEK) |
| 12 | 控制器规格 | MC-Free3D |
三自由度并联运动台 — Free3D.ZTxTy.100
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 并联驱动结构
· 内置高精度光学位置传感器
· 灵活的可定制方案
产品图片&尺寸
产品参数
| 1 | 可选版本 | HV，高真空版本；UHV，超高真空版本；NM，完全无磁版本； |
| 2 | 外形尺寸 | Ø100 × 78 mm |
| 3 | 主体材料 | 标准版，+HV，+UHV 铝合金，铜：1010 g；NM 纯钛，陶瓷：580 g |
| 4 | 最大垂直负载 | 500 g |
| 5 | 中空孔径 | Ø20 mm |
| 6 | 运动行程 Z, 6X, 6Y* | 0–20 mm, ± 30°, ± 30° |
| 7 | 单向重复精度 Z, 6X, 6Y* | ± 0.2 μm, ± 10 μrad, ± 10 μrad |
| 8 | 最小步优 Z, 6X, 6Y* | 10 nm, 1 μrad, 1 μrad |
| 9 | 传感器类型 | 光学位置传感器 |
| 10 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
| 11 | 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆 D-Sub15；UHV 版本：Kapton 涂层线缆，D-Sub15 (PEEK) |
| 12 | 控制器规格 | MC-Free3D |
报价：面议
已咨询47次电动位移台
报价：面议
已咨询57次电动位移台
报价：面议
已咨询47次电动位移台
报价：面议
已咨询1417次运动图像分析软件
报价：面议
已咨询38次电动位移台
报价：面议
已咨询558次水样采集器
报价：面议
已咨询265次多轴系统
报价：面议
已咨询229次磁学测量
·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向 ·亚纳米级位置分辨率·内置电容传感器，闭环控制 ·长行程运动范围 ·直接位置检测
·超安静运动 纳米级分辨率 ·全行程运动中，保证通孔·XY一体式组合结构·内置高精度光学位置传感器 ·断电位置自保持 ·可与高精度压电扫描台堆叠组合
超安静运动 ·纳米级分辨率 ·断电位置自保持 ·并联驱动结构 ·内置高精度光学位置传感器 灵活的可定制方案
超安静运动 纳米级分辨率 ·断电位置自保持·内置高精度光学位置传感器 并联驱动结构 高刚性系统
亚纳米级位置分辨率 高速数据采集 高速通讯的位置传感方案
超微小结构 ·超安静运动 ·断电位置自保持 ·纳米级分辨率
超安静运动 ·纳米级分辨率 断电位置自保持内置高精度光学位置传感器 ·多种行程规格
·高性能驱动力 ·大负载垂直提升闭环控制，内置光栅位置传感器 ·直驱传动无间隙·优秀的导向系统 完整运动台设计，方便安装使用
营业执照已审核
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