S系列集成单轴--三轴的紧凑型压电扫描台
“mini系列“小体积线性位移台
压电镜架与压电螺纹副AutoScrew.LR系列
压电镜架与压电螺纹副AutoScrew.LR系列
压电镜架与压电螺纹副AutoScrew.Nano.Set系列
X轴扫描台 — S100/200/300.X & S500.X
产品特色
· 压电陶瓷堆叠驱动
· 无摩擦柔顺结构导向
· 亚纳米级位置分辨率
· 长行程运动范围
· 内置电容传感器，闭环控制
· 直接位置检测
产品图片&尺寸
产品参数
| 产品参数 | S100.X | S200.X | S300.X | S500.X |
| 1. 可选版本 | .NM, 绝对无磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本； | .NM, 绝对无磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本； | .NM, 绝对无磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本； | .NM, 绝对无磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本； |
| 2. 外形尺寸 | 55 × 55 × 17 mm | 55 × 55 × 17 mm | 55 × 55 × 17 mm | 70 × 70 × 17 mm |
| 3. 运动方向 & 行程 (闭环) | 100 μm | 200 μm | 300 μm | 500 μm |
| 4. 主体材料 | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 220 g；.NM 铝合金，钛合金: 200 g | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 220 g；.NM 铝合金，钛合金: 200 g | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 220 g；.NM 铝合金，钛合金: 200 g | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 250 g；.NM 铝合金，钛合金: 230 g |
| 5. 线性误差度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
| 6. 重复定位精度 | 5 nm | 5 nm | 5 nm | 6 nm |
| 7. 运动分辨率 (闭环) | 0.5 nm | 0.6 nm | 0.9 nm | 1.5 nm |
| 8. 运动分辨率 (开环) | 0.2 nm | 0.3 nm | 0.5 nm | 0.7 nm |
| 9. 刚性 | 1 N/μm | 0.65 N/μm | 0.25 N/μm | 0.16 N/μm |
| 10. 共振频率，0 负载 (± 20%) | 750 Hz | 590 Hz | 310 Hz | 210 Hz |
| 11. 共振频率，0.5 kg 负载 (± 20%) | 200 Hz | 162 Hz | 100 Hz | 80 Hz |
| 12. 最大负载 | 500 g | 500 g | 500 g | 500 g |
| 13. 位置传感器类型 | 电容式位置传感 | 电容式位置传感 | 电容式位置传感 | 电容式位置传感 |
| 14. 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA |
| 15. 控制器规格 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 |
Z轴扫描台 — S100/200/300.Z
产品特色
· 压电陶瓷堆叠驱动
· 直接位置检测
· 无摩擦柔顺结构导向
· 亚纳米级位置分辨率
· 内置电容传感器，闭环控制
产品图片&尺寸
产品参数
| 产品参数 | S100.Z | S200.Z | S300.Z |
| 1. 可选版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
| 2. 外形尺寸 | 55 × 55 × 23 mm | 55 × 55 × 23 mm | 55 × 55 × 23 mm |
| 3. 运动方向 & 行程 (闭环) | 100 μm | 200 μm | 300 μm |
| 4. 主体材料 | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 260 g；.NM 铝合金，钛合金: 240 g | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 260 g；.NM 铝合金，钛合金: 240 g | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 260 g；.NM 铝合金，钛合金: 240 g |
| 5. 线性误差度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
| 6. 重复定位精度 | 5 nm | 5 nm | 5 nm |
| 7. 运动分辨率 (闭环) | 0.5 nm | 0.6 nm | 0.9 nm |
| 8. 运动分辨率 (开环) | 0.2 nm | 0.3 nm | 0.5 nm |
| 9. 刚性 | 1 N/μm | 0.7 N/μm | 0.4 N/μm |
| 10. 共振频率，0 负载 (± 20%) | 550 Hz | 540 Hz | 430 Hz |
| 11. 共振频率，0.5 kg 负载 (± 20%) | 230 Hz | 210 Hz | 150 Hz |
| 12. 最大负载 | 500 g | 500 g | 500 g |
| 13. 位置传感器类型 | 电容式位置传感 | 电容式位置传感 | 电容式位置传感 |
| 14. 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA |
| 15. 控制器规格 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 |
XY扫描台 — S100/200/300.XY
产品特色
· 压电陶瓷堆叠驱动
· 直接位置检测
· 无摩擦柔顺结构导向
· 亚纳米级位置分辨率
· 内置电容传感器，闭环控制
· 紧凑的串联多轴结构
产品图片&尺寸
产品参数
| 产品参数 | S100.XY | S200.XY | S300.XY |
| 1. 可选版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
| 2. 外形尺寸 | 55 × 55 × 28 mm | 55 × 55 × 28 mm | 55 × 55 × 28 mm |
| 3. 运动方向 & 行程 (闭环) | 100 μm | 200 μm | 300 μm |
| 4. 主体材料 | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 450 g；.NM 铝合金，钛合金: 410 g | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 450 g；.NM 铝合金，钛合金: 410 g | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 450 g；.NM 铝合金，钛合金: 410 g |
| 5. 线性误差度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
| 6. 重复定位精度 | 5 nm | 5 nm | 5 nm |
| 7. 运动分辨率 (闭环) | 0.5 nm | 0.6 nm | 0.9 nm |
| 8. 运动分辨率 (开环) | 0.2 nm | 0.3 nm | 0.5 nm |
| 9. 刚性 | 0.7 N/μm | 0.5 N/μm | 0.2 N/μm |
| 10. 共振频率，0 负载 (± 20%) | X: 570 Hz；Y: 530 Hz | X: 480 Hz；Y: 400 Hz | X: 300 Hz；Y: 260 Hz |
| 11. 共振频率，0.5 kg 负载 (± 20%) | X: 130 Hz；Y: 120 Hz | X: 130 Hz；Y: 115 Hz | X: 85 Hz；Y: 80 Hz |
| 12. 最大负载 | 500 g | 500 g | 500 g |
| 13. 位置传感器类型 | 电容式位置传感 | 电容式位置传感 | 电容式位置传感 |
| 14. 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA |
| 16. 控制器规格 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 |
XY扫描台 — S500.XY
产品特色
· 压电陶瓷堆叠驱动
· 直接位置检测
· 无摩擦柔顺结构导向
· 亚纳米级位置分辨率
· 内置电容传感器，闭环控制
· 紧凑的串联多轴结构
产品图片&尺寸
产品参数
| 产品参数 | S500.XY |
| 1. 可选版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
| 2. 外形尺寸 | 70 × 70 × 28 mm |
| 3. 运动方向 & 行程 (闭环) | 500 μm |
| 4. 主体材料 | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 500 g；.NM 铝合金，钛合金: 460 g |
| 5. 线性误差度 | 0.02% |
| 6. 重复定位精度 | 6 nm |
| 7. 运动分辨率 (闭环) | 1.5 nm |
| 8. 运动分辨率 (开环) | 0.7 nm |
| 9. 刚性 | 0.13 N/μm |
| 10. 共振频率，0 负载 (± 20%) | X: 190 Hz；Y: 150 Hz |
| 11. 共振频率，0.5 kg 负载 (± 20%) | X: 68 Hz；Y: 66 Hz |
| 12. 最大负载 | 500 g |
| 13. 位置传感器类型 | 电容式位置传感 |
| 14. 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA |
| 16. 控制器规格 | MC-Archimedes.N 系列 |
XYZ扫描台 — S100/200/300.XYZ
产品特色
· 压电陶瓷堆叠驱动
· 直接位置检测
· 无摩擦柔顺结构导向
· 亚纳米级位置分辨率
· 内置电容传感器，闭环控制
· 紧凑的串联多轴结构
产品图片&尺寸
产品参数
| 产品参数 | S100.XYZ | S200.XYZ | S300.XYZ |
| 1. 可选版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
| 2. 外形尺寸 | 55 × 55 × 42 mm | 55 × 55 × 42 mm | 55 × 55 × 42 mm |
| 3. 运动方向 & 行程 (闭环) | 100 μm | 200 μm | 300 μm |
| 4. 主体材料 | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 650 g；.NM 铝合金，钛合金: 600 g | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 650 g；.NM 铝合金，钛合金: 600 g | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 650 g；.NM 铝合金，钛合金: 600 g |
| 5. 线性误差度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
| 6. 重复定位精度 | 5 nm | 5 nm | 5 nm |
| 7. 运动分辨率 (闭环) | 0.5 nm | 0.6 nm | 0.9 nm |
| 8. 运动分辨率 (开环) | 0.2 nm | 0.3 nm | 0.5 nm |
| 9. 刚性 | 0.6 N/μm | 0.5 N/μm | 0.2 N/μm |
| 10. 共振频率，0 负载 (± 20%) | X: 490 Hz；Y: 480 Hz；Z: 350 Hz | X: 410 Hz；Y: 380 Hz；Z: 320 Hz | X: 310 Hz；Y: 250 Hz；Z: 230 Hz |
| 11. 共振频率，0.5 kg 负载 (± 20%) | X: 110 Hz；Y: 115 Hz；Z: 170 Hz | X: 100 Hz；Y: 105 Hz；Z: 155 Hz | X: 75 Hz；Y: 80 Hz；Z: 110 Hz |
| 12. 最大负载 | 500 g | 500 g | 500 g |
| 13. 位置传感器类型 | 电容式位置传感 | 电容式位置传感 | 电容式位置传感 |
| 14. 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA |
| 16. 控制器规格 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 |
XYZ扫描台 — S100.XYZ.P
产品特色
· 压电陶瓷堆叠驱动
· 直接位置检测
· 无摩擦柔顺结构导向
· 亚纳米级位置分辨率
· 内置电容传感器，闭环控制
· 超小型并联多轴结构
产品图片&尺寸
产品参数
| 产品参数 | 对应参数值 |
| 1. 可选版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
| 2. 外形尺寸 | 40 × 40 × 40 mm |
| 3. 运动方向 & 行程 (闭环) | 100 μm |
| 4. 主体材料 | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 200 g；.NM 铝合金，钛合金: 190 g |
| 5. 线性误差度 | 0.02% |
| 6. 重复定位精度 | 6 nm |
| 7. 运动分辨率 (闭环) | 1 nm |
| 8. 运动分辨率 (开环) | 0.5 nm |
| 9. 刚性 | 0.6 N/μm |
| 10. 共振频率，0 负载 (± 20%) | XYZ: 750 Hz |
| 11. 共振频率，0.2 kg 负载 (± 20%) | XYZ: 230 Hz |
| 12. 最大负载 | 200 g |
| 13. 位置传感器类型 | 电容式位置传感 |
| 14. 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA |
| 15. 控制器规格 | MC-Archimedes.N 系列 |
高速单轴扫描运动 — SD15/30.X.C
产品特色
· 压电陶瓷堆叠驱动
· 直接位置检测
· 无摩擦柔顺结构导向
· 亚纳米级位置分辨率
· 内置电容传感器，闭环控制
· 高动态毫秒级响应速度
产品图片&尺寸
产品参数
| 产品参数 | SD15.X | SD30.X |
| 1. 可选版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
| 2. 外形尺寸 | 62 × 40 × 13.5 mm | 80 × 40 × 13.5 mm |
| 3. 运动方向 & 行程 (闭环) | 15 μm | 30 μm |
| 4. 主体材料 | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 180 g；.NM 铝合金，钛合金: 160 g | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 250 g；.NM 铝合金，钛合金: 220 g |
| 5. 线性误差度 | 0.03% | 0.03% |
| 6. 重复定位精度 | 2 nm | 4 nm |
| 7. 运动分辨率 (闭环) | 0.2 nm | 0.5 nm |
| 8. 运动分辨率 (开环) | 0.1 nm | 0.2 nm |
| 9. 刚性 | 28 N/μm | 18 N/μm |
| 10. 共振频率，0 负载 (± 20%) | 3.3 KHz | 2.2 KHz |
| 11. 共振频率，0.3 kg 负载 (± 20%) | 1 KHz | 0.625 KHz |
| 12. 最大负载 | 300 g | 300 g |
| 13. 位置传感器类型 | 电容式位置传感 | 电容式位置传感 |
| 14. 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA |
| 15. 控制器规格 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 |
三轴扫描运动 — SH30.XYZ.C
产品特色
· 压电陶瓷堆叠驱动
· 高负载能力
· 无摩擦柔顺结构导向
· 亚纳米级位置分辨率
· 内置电容传感器，闭环控制
· 直接位置检测
产品图片&尺寸
产品参数
| 产品参数 | 对应参数值 |
| 1. 可选版本 | .NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
| 3. 外形尺寸 | 160 × 160 × 34.5 mm |
| 4. 运动方向 & 行程 (闭环) | 30 × 30 × 15 μm |
| 5. 主体材料 | 标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 4.5 kg；.NM 铝合金，钛合金: 4.2 kg |
| 6. 线性误差度 | 0.03% |
| 7. 重复定位精度 | 4 nm |
| 8. 运动分辨率 (闭环) | 0.3 nm |
| 9. 运动分辨率 (开环) | 0.2 nm |
| 10. 刚性 | 25 N/μm |
| 11. 共振频率，0 负载 (± 20%) | X: 760 Hz；Y: 760 Hz；Z: 830 Hz |
| 12. 共振频率，10 kg 负载 (± 20%) | X: 220 Hz；Y: 220 Hz；Z: 340 Hz |
| 13. 最大负载 | 10 kg |
| 14. 位置传感器类型 | 电容式位置传感 |
| 15. 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA |
| 16. 控制器规格 | MC-Archimedes.N 系列 |
报价：面议
已咨询35次电动位移台
报价：面议
已咨询60次常温压电位移台
报价：面议
已咨询58次电动位移台
报价：面议
已咨询66次电动位移台
报价：面议
已咨询53次常温压电位移台
报价：面议
已咨询550次精密定位平台/扫描台
报价：面议
已咨询153次常温压电位移台
报价：￥44850
已咨询172次电磁式振动台
报价：面议
已咨询195次常温压电位移台
报价：面议
已咨询188次常温压电位移台
报价：面议
已咨询178次常温压电位移台
报价：面议
已咨询602次iHR 系列在轴扫描三光栅光谱仪
·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向 ·亚纳米级位置分辨率·内置电容传感器，闭环控制 ·长行程运动范围 ·直接位置检测
·超安静运动 纳米级分辨率 ·全行程运动中，保证通孔·XY一体式组合结构·内置高精度光学位置传感器 ·断电位置自保持 ·可与高精度压电扫描台堆叠组合
超安静运动 ·纳米级分辨率 ·断电位置自保持 ·并联驱动结构 ·内置高精度光学位置传感器 灵活的可定制方案
超安静运动 纳米级分辨率 ·断电位置自保持·内置高精度光学位置传感器 并联驱动结构 高刚性系统
亚纳米级位置分辨率 高速数据采集 高速通讯的位置传感方案
超微小结构 ·超安静运动 ·断电位置自保持 ·纳米级分辨率
超安静运动 ·纳米级分辨率 断电位置自保持内置高精度光学位置传感器 ·多种行程规格
·高性能驱动力 ·大负载垂直提升闭环控制，内置光栅位置传感器 ·直驱传动无间隙·优秀的导向系统 完整运动台设计，方便安装使用
营业执照已审核
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